孙寅斌
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 晶圆制造Interbay物料运输系统智能调度技术研究
- 半导体晶圆制造系统是当今最为复杂的离散制造系统之一，具有可重入流、大规模在制品混合加工、加工工序复杂、加工周期长、设备昂贵以及设备负载不均衡等明显区别于其他制造业的特点。随着自动化物料运输系统的普及，如何利用自动物料运输...
- 孙寅斌
- 关键词：智能调度多目标优化遗传算法
- 文献传递
- 晶圆制造物料运输系统实时调度方法被引量：2
- 2011年
- Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大。为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞,提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法,并建立工件调度模型。基于300 mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明,与传统的Interbay物料运输调度方法相比,该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能。
- 孙寅斌吴立辉张洁
- 关键词：晶圆制造
- 基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的Interbay物料运输系统调度方法被引量：3
- 2016年
- 为了满足晶圆制造Interbay物料运输调度的多目标和实时性要求,提出了一种基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的智能调度方法.首先对晶圆工件的运输时间、等待时间、交货期以及加工特性这4个参数进行加权求和,建立晶圆工件的多目标运输成本模型;然后基于模糊逻辑控制的权重参数调节模型对各个权重参数进行动态调整,进而实时地计算晶圆工件的运输成本;最后以最小化运输成本为目标,采用改进匈牙利算法求取晶圆工件和运输小车的最优匹配方案.仿真实验结果表明,与传统的几种单一启发式规则比较,提出的调度方法能够有效减少晶圆工件的平均搬运时间和平均加工周期,具有较好的综合调度性能.
- 张洁潘聪孙寅斌吴立辉秦威
- 关键词：调度多目标模糊逻辑
- 基于复合规则的Interbay物料运输系统多目标调度方法被引量：2
- 2016年
- 为了满足晶圆制造Interbay物料运输系统的全局优化要求,提出基于复合规则的Interbay物料运输系统多目标调度方法。充分考虑各运输设备之间的约束关系,建立了Interbay物料运输系统的多目标调度模型。提出基于遗传规划的复合规则生成方法,该方法将晶圆工件的属性参数与四种基本运算符号按照二叉树的结构进行编码,再通过选择、交叉、变异以及基于d-best策略的λ-Interchange局部搜索方法,寻找具有最佳适应度的复合调度规则。为了对大量个体进行快速评价,设计了基于物料运输表的适应度值估算方法。仿真实验结果表明,与文献中的Interbay物料运输调度方法相比,基于所提算法生成的复合调度规则能够对工件的平均加工周期、平均搬运时间、平均交货期满足率等多个目标进行综合优化,同时表现出较好的鲁棒性。
- 张洁潘聪秦威孙寅斌
- 关键词：调度多目标
