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岸本哲

作品数：13 被引量：16H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 3篇理学

主题

  • 8篇光测力学
  • 4篇显微镜
  • 4篇激光
  • 4篇激光扫描共聚...
  • 4篇激光扫描共聚...
  • 4篇共聚焦
  • 4篇共聚焦显微镜
  • 2篇电子束
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇镀层
  • 2篇云纹
  • 2篇照明
  • 2篇照明光源
  • 2篇散斑
  • 2篇图像
  • 2篇曝光机
  • 2篇重要参数
  • 2篇无损伤
  • 2篇目镜

机构

  • 13篇清华大学
  • 1篇同济大学

作者

  • 13篇岸本哲
  • 13篇谢惠民
  • 12篇戴福隆
  • 4篇邢永明
  • 4篇王庆华
  • 2篇方岱宁
  • 2篇王朝阳
  • 2篇李艳杰
  • 2篇潘兵
  • 1篇刘清珺
  • 1篇张维
  • 1篇马少鹏
  • 1篇赵兵
  • 1篇王怀喜

传媒

  • 2篇光学技术
  • 2篇第9届全国实...
  • 1篇力学与实践

年份

  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇2006
  • 4篇2000
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种光子晶体表面周期性结构的检测方法
一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将...
谢惠民王庆华岸本哲邢永明戴福隆
文献传递
电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术被引量：3
2000年
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。
谢惠民戴福隆岸本哲张维
显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用被引量：1
2009年
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
谢惠民王怀喜马少鹏刘清珺岸本哲
关键词：微电子器件
一种测量金属互连线力/电耦合作用下表面变形的方法
一种测量金属互连线力/电耦合作用下表面变形的方法，属于变形检测、光测力学技术领域。本发明利用离子束刻蚀法或电子束刻蚀法在金属互连线表面制作光栅，通过力/电耦合加载系统进行加载，由光学显微镜及图像采集装置实时拍摄加载前及加...
谢惠民王庆华岸本哲戴福隆
文献传递
一种制作高温微米尺度散斑的方法
一种制作高温微米尺度散斑的方法，属于光测力学技术领域。本发明的技术特点是在电子束曝光机这一成熟商品仪器环境下，完成高温微米尺度散斑的制作，该方法操作简单、灵活，容易实现。通过改变电子束光学曝光系统的放大倍数、束流强度和刻...
谢惠民李艳杰岸本哲戴福隆
文献传递
利用激光扫描共聚焦显微镜制作高密度光栅的方法
一种高密度光栅的制作方法，属于光学器件的制造、光测力学技术领域。本发明是在成熟商品仪器激光扫描共聚焦显微镜的操作环境中，利用其照明光源所发出的波长在光刻胶感光敏感波长范围内的聚焦激光点，对光栅基底材料表面的光刻胶进行扫描...
谢惠民潘兵方岱宁邢永明岸本哲戴福隆
文献传递
纳米云纹法实验研究被引量：12
2000年
结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法 ,并应用该方法进行纳米范围的变形。实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参考栅 ,云母和高纯定向石墨的晶格结构做为试件。对纳米云纹形成原理及测量方法进行了详尽讨论。运用该方法对强脉冲激光辐照激光照射之后云母试样的剩余变形进行测量研究。成功的实验结果表明这种方法是可行性的 ,可望在纳米力学行为研究中获得广泛应用。
谢惠民赵兵戴福隆岸本哲张维
关键词：原子力显微镜云纹法光栅
一种光子晶体表面周期性结构的检测方法
一种光子晶体表面周期性结构的检测方法，属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅，光子晶体表面周期性结构为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹，再通过提取云纹条纹方程，将...
谢惠民王庆华岸本哲邢永明戴福隆
文献传递
一种制作高温微米尺度散斑的方法
一种制作高温微米尺度散斑的方法，属于光测力学技术领域。本发明的技术特点是在电子束曝光机这一成熟商品仪器环境下，完成高温微米尺度散斑的制作，该方法操作简单、灵活，容易实现。通过改变电子束光学曝光系统的放大倍数、束流强度和刻...
谢惠民李艳杰岸本哲戴福隆
文献传递
双频电子束云纹光栅的制作工艺研究
该文首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺，文中对制栅工艺的原理、过程进行了探讨。本制栅工艺适用于制作0.1μm至25μm范围内所选定频率的双频光栅。
谢惠民戴福隆王朝阳岸本哲
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