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张奎

作品数:11 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国科学院院地合作项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信化学工程更多>>

文献类型

  • 8篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇化学工程

主题

  • 5篇激光
  • 4篇激光直写
  • 4篇光刻
  • 3篇显影液
  • 3篇超分辨
  • 2篇数据文件
  • 2篇数字存储
  • 2篇数字微镜
  • 2篇图片
  • 2篇图片处理
  • 2篇图像
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光信息
  • 2篇光学
  • 2篇SB
  • 1篇读出
  • 1篇读取方法
  • 1篇对比度
  • 1篇掩膜
  • 1篇掩膜板

机构

  • 11篇中国科学院上...
  • 1篇郑州轻工业学...

作者

  • 11篇张奎
  • 9篇王阳
  • 8篇魏劲松
  • 3篇吴谊群
  • 3篇耿永友
  • 3篇魏涛
  • 1篇顿爱欢
  • 1篇施宏仁
  • 1篇翟凤潇
  • 1篇李豪

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇光学学报

年份

  • 2篇2023
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2011
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
图像式并行读写的光信息数字存储方法
一种基于图像式并行读写的光信息数字存储方法,基于图像式并行读写的光信息数字存储原理,将数据文件经编码器转化为“0”“1”分布的的二值图像,结合DMD数字微镜反射器和运动平台在相变材料上快速曝光拼接,实现数据记录;结合光学...
魏劲松王正伟王阳魏涛张奎
文献传递
一种激光热敏光刻图像反转胶及其光刻方法
本发明公开了一种激光热敏光刻图像反转胶及其光刻方法。所述激光热敏光刻图像反转胶为锗锑硫系相变化合物,其通式为Ge<Sub>x</Sub>Sb<Sub>1‑x</Sub>,0.05≤x≤0.5。该激光热敏光刻图像反转胶经激...
赵培均张奎王阳魏劲松
激光直写用超分辨掩膜板及其制备方法
一种激光直写用超分辨掩膜板及其制备方法,该超分辨掩膜板的结构包括作为基底的盖玻片、相变薄膜层和介电保护层。该发明的膜层结构采用磁控溅射法制备,具有膜层结构简单,制备工艺可控性好等优点。采用本发明超分辨掩膜板,在不需要复杂...
张奎魏劲松魏涛耿永友王阳吴谊群
文献传递
多层三维光信息存储体的制造方法及读取方法
一种多层三维光信息存储体的制造方法及读取方法,基于多层三维光信息存储原理,运用相变存储原理在多片玻璃片上记录信息,对记录的信息进行清晰化处理;再将记录有信息的多片玻璃片粘合在一起,形成多层记录。该存储方法单位体积存储密度...
魏劲松王正伟王阳张奎
文献传递
膜厚对Sb_2Te_3薄膜光学性质的影响被引量:4
2011年
超分辨近场结构光存储技术(Super-RENS)是一种利用功能薄膜结构实现突破光学衍射极限的信息点记录和读取的新技术,作为超分辨光盘结构的掩膜材料是决定其性能的关键。利用透射电子显微镜研究了可作为超分辨光盘掩膜层Sb2Te3薄膜的晶态结构、表面形貌;利用光谱仪和椭偏仪分析了其光学性质随膜厚的变化。结果表明,沉积态Sb2Te3薄膜呈弱晶状态,在一定厚度范围内,其光学性质随膜厚的不同有较大变化。当膜较薄时,其消光系数和折射率随膜厚的增加而减小;当膜厚达到一定值时,其光学常数随膜厚的增加逐渐趋于稳定,即存在膜厚影响临界值。消光系数和折射率的膜厚影响临界值分别在80nm和50nm左右。薄膜的光学性质与膜厚的关系可以用薄膜结构的连续性来解释。
张奎耿永友吴谊群顿爱欢李豪
关键词:光学性质膜厚
一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法
一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法,基于激光热模光刻胶刻蚀机理,配制了新型Te基硫化物热模光刻胶显影液,其主要由氧化性离子组成,并可通过酸性溶液调节PH值达到更好的显影效果;后经对激光曝光后的热模光刻胶进行显影、检测...
王正伟魏劲松王阳张奎陈国东
文献传递
一种透明无机热敏光刻胶及其光刻工艺
本发明公开一种透明无机热敏光刻胶,所述光刻胶为硫化锑化合物,其化学式为Sb<Sub>2</Sub>S<Sub>3</Sub>,该透明无机热敏光刻胶通过在激光直写曝光下获得潜影,继而在碱性显影液中呈现负性光刻胶特性。光刻胶...
张奎赵培均王阳魏劲松
图像式并行读写的光信息数字存储方法
一种基于图像式并行读写的光信息数字存储方法,基于图像式并行读写的光信息数字存储原理,将数据文件经编码器转化为“0”、“1”分布的的二值图像,结合DMD数字微镜反射器和运动平台在相变材料上快速曝光拼接,实现数据记录;结合光...
魏劲松王正伟王阳魏涛张奎
文献传递
Sb_(80)Bi_(20)光学非线性纳米薄膜的超分辨效应
2014年
利用Z-扫描测试技术研究了低功率下Sb80Bi20纳米薄膜的非线性光学特性,并利用椭圆偏振光谱仪测量了薄膜光学常数及椭偏参数。实验结果表明Sb80Bi20薄膜具有较大的饱和非线性光学吸收,非线性系数约为-0.018m/W,而非线性折射率效应却不明显。Sb80Bi20纳米薄膜的超分辨效应主要在于具有大的非线性吸收系数。理论计算表明35nm厚薄膜可使高斯光束半径缩小大约10%。因此Sb80Bi20薄膜有望用于近场超分辨结构。
翟凤潇张奎王阳吴谊群
关键词:光学非线性
In掩膜层超分辨光盘的读出研究
2012年
在超分辨光存储技术中,掩膜层材料是决定其性能优劣的关键。In薄膜可以作为掩膜层用来实现超分辨信息点的动态读出。采用直流磁控溅射法制备不同厚度的In薄膜,用台阶仪测量薄膜厚度随时间的变化关系,用原子力显微镜观察不同厚度薄膜样品的表面形貌。在预刻有尺寸为390nm信息点的光盘盘基上制备In薄膜,从而形成In掩膜超分辨光盘。利用光盘动态测试仪进行动态读出,最高读出载噪比(CNR)达到26dB。为了进一步分析超分辨动态读出的物理机理,采用变温椭圆偏振光谱仪测量In薄膜在不同温度下的光学常数,得到In薄膜在不同温度下的反射率和吸收系数。分析表明In掩膜超分辨光盘的读出机理符合孔径型超分辨读出模型。
张奎耿永友施宏仁
关键词:超分辨载噪比
共2页<12>
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