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张宇华
作品数:
14
被引量:69
H指数:6
供职机构:
上海交通大学生命科学技术学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
机械工程
理学
自动化与计算机技术
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合作作者
张国雄
天津大学精密仪器与光电子工程学...
李真
天津大学精密仪器与光电子工程学...
王晓琳
山东工业大学机械工程学院
王晓琳
上海交通大学生命科学技术学院
阎吉祥
北京理工大学
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机构
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文献类型
14篇
中文期刊文章
领域
9篇
金属学及工艺
5篇
机械工程
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理学
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自动化与计算...
主题
5篇
三点法
4篇
圆度
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主轴
3篇
机床
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测头
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轴系
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光强
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光学
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光学系统
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针式
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机构
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中国科学院长...
作者
14篇
张宇华
6篇
张国雄
5篇
李真
3篇
赵达尊
3篇
阎吉祥
3篇
王晓琳
3篇
王晓琳
2篇
王晓林
1篇
王晓琳
1篇
郑义忠
传媒
4篇
光学精密工程
3篇
光学技术
3篇
北京理工大学...
2篇
仪器仪表学报
1篇
机械工程学报
1篇
中国机械工程
年份
2篇
2000
10篇
1999
2篇
1998
共
14
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被引量排序
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衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量:3
1999年
本文介绍以8031单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法,本系统既具有闭环控制的高精度特点,又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明:该系统控制的刻划机的定位精度σ=3.6nm,最大定位误差为14.6nm。
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
关键词:
开环控制
光栅干涉仪
三点法中测头最佳角位置的确定方法
被引量:9
1998年
论述了三点法圆度及轴系运动误差测量系统中确定三个测头最佳角位置的方法。通过分析测头读数误差对圆度各次谐波测量精度的影响,提出了确定三个测头最佳角位置的优化策略,基于MonteCarlo思想和单纯形模式搜索方法编制了高效、高精度的寻优程序,优化得到三个测头的最佳角位置。研究表明:在误差分析的基础上对三个测头的角位置进行优化能很好地解决三点法圆度测量形状失真问题,随机模式搜索寻优是确定测头最佳角位置的有效手段。
张宇华
王晓琳
关键词:
圆度
测头
轴系
测量系统
电容测微仪动态特性的改进及标定方法
被引量:9
1999年
目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进.方法以8阶Butter-worth滤波器MAX291为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法.结果与结论改进后的电容测微仪在±10μm的量程内非线性误差最大不超过0.80%,重复性精度优于0.15%,测量精度优于0.10μm,频响范围达4.2kHz.
张宇华
王晓琳
张国雄
郑义忠
关键词:
主轴
机床
五点法测量机床主轴轴向及倾角的运动误差
被引量:1
1999年
提出了测量机床主轴的轴向及倾角运动误差的端面五点法。在轴端面绕轴心的某一圆周上,垂直于轴端面,按通过误差分析优化确定的位置, 布置五个测头, 在主轴回转一圈中同时测得主轴的轴向及倾角运动误差以及端面基准的形状误差, 并将测头的读数及定位误差的影响降至最低程度。本方法可用于机床主轴回转精度的实时测量,
张宇华
王晓琳
张国雄
李真
关键词:
主轴
轴向
倾角
五点法
机床
由Strehl比判断光学系统实际分辨能力
1999年
提出了一个根据Strehl 比评价光学系统实际分辨能力的近似方法。用高斯分布函数逼近点光源在光学系统焦面上的像斑光强分布,根据瑞利判据,导出了光学系统分辨能力与Strehl 比的关系方程。它可根据系统的Strehl 比来判定像面上的两个像斑能否分辨开来。
张宇华
赵达尊
阎吉祥
关键词:
高斯函数
光学系统
提高三点法测量精度的研究
被引量:6
1999年
目的研究进一步提高三点法测量圆度及轴系运动误差精度的方法.方法分析了测头读数及角位置误差对圆度各次谐波及圆周各点测量精度的影响;提出了三点法测量系统的优化策略与算法;研究了三点法测量误差的分布与传递规律;提出了克服测头定位误差以及3个测头的灵敏度不一致影响的软件校正方法.结果圆度各次谐波的最大测量误差相对于传统三点法减小67%,圆度及其各次谐波的测量不确定性明显降低.结论该方法能明显提高三点法测量精度.
张宇华
王晓琳
张国雄
李真
关键词:
三点法
圆度
多点法圆度及轴系误差分离方法的若干问题
被引量:15
1999年
目的论述多测头圆度及轴系测量误差分离方法的一般原理、测量误差的传播规律以及测圆精度与测头数目的关系.方法在满足误差分离条件的前提下,增加测头和引入冗余测量方程以减小测头的读数及角位置误差对测圆精度的影响.通过误差分析及实验考察了测圆精度与测头数目的关系.结果与结论3点法不能进一步提高测圆精度;引入冗余测量信息能有效减小测头读数及角位置误差对测圆精度的影响,4点法测圆精度有显著改善;多于4个测头时,测圆精度不再随之有明显提高.
张宇华
王晓琳
张国雄
李真
关键词:
轴系
圆度
基于科尔效应的非线性自适应光学系统
1999年
本文介绍并比较了环形振荡腔式以及由一片Kerr 介质与一块二维反馈镜组成的非线性光学系统的结构特点,分析了上述系统的非线性动力学过程以及对波前相位畸变的压缩方式。
张宇华
阎吉祥
赵达尊
关键词:
非线性光学
自适应光学
测头读数及定位误差对三点法圆度测量精度的影响
被引量:17
1999年
研究三点法测量圆度时测头的读数误差及角位置误差时圆度测量精度的影响。从三点法的原理出发对测量过程进行误差分析,导出了圆度测量误差方程,并通过计算机仿真详细研究了测头的读数及角位置误差对圆度测量精度的影响。圆度测量精度主要决定于读数误差;如果3个测头间的夹角选择不当,将使测头读数误差在某些谐波上被大大放大。必须恰当选择3个测头间的夹角,使读数误差对圆度各次谐波测量结果的影响都较小。
张宇华
王晓琳
张国雄
李真
关键词:
三点法
圆度
角位置误差
三点法中测头角位置的精密测量方法
被引量:5
1999年
研究了三点法圆度及轴系误差测量中测头角位置的精密测量方法。设计了能直接测量非接触电容传感器测头实测状态下的角位置的测角系统,提出了克服测头角位置测量误差及三个测头灵敏度标定误差影响的校正方法。实验表明:采用本文提出的“多刻线”法测角精度优于1′,测头角位置测量误差及三个测头灵敏度标定误差对测量精度的影响可降致最小。
张宇华
王晓林
关键词:
三点法
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