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张灿
作品数:
27
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
文化科学
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合作作者
梁松
中国科学院半导体研究所
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
王圩
中国科学院半导体研究所
马丽
清华大学信息科学技术学院电子工...
韩良顺
中国科学院半导体研究所
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张灿
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韩良顺
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一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法
本发明公开了一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法,方法包括如下步骤:在一衬底上依次生长下波导层、多量子阱有源区、上波导层;获得分布布拉格反馈区及相位区材料,其带隙波长小于激光器发光波长;在反馈区制作光栅;在整个管芯...
梁松
张灿
于立强
赵玲娟
朱洪亮
吉晨
王圩
文献传递
利用量子阱混杂制作多波长光子集成发射器芯片的方法
本发明公开了一种利用量子阱混杂技术制作多波长光子集成发射芯片的方法,包括如下步骤:在衬底上依次外延缓冲层、多量子阱有源区、快速退火缓冲层和空位释放层;腐蚀去掉激光器、探测器和光放大器区的空位释放层后生长二氧化硅,一次退火...
张灿
朱洪亮
梁松
文献传递
DFB激光器阵列与MMI耦合器、SOA的单片集成
被引量:4
2013年
采用变脊宽原理和对接生长技术,设计并制作了4通道分布反馈(DFB)激光器阵列与多模干涉(MMI)耦合器、半导体光放大器(SOA)的单片集成器件。在25℃的测试温度下,激光器的阈值电流约55~60mA;当激光器注入150mA、SOA注入50mA电流时,各通道的出光功率保持在2mW以上,出射波长处于1 550nm波段,边模抑制比(SMSR)大于33dB,4通道可实现单独或同时工作。
马丽
朱洪亮
梁松
王宝军
张灿
赵玲娟
边静
陈明华
关键词:
单片集成
一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法
本发明公开了一种分布布拉格反馈可调谐激光器及其制作方法,方法包括如下步骤:在一衬底上依次生长下波导层、多量子阱有源区、上波导层;获得分布布拉格反馈区及相位区材料,其带隙波长小于激光器发光波长;在反馈区制作光栅;在整个管芯...
梁松
张灿
于立强
赵玲娟
朱洪亮
吉晨
王圩
文献传递
抑制空间烧孔效应的分布反馈激光器的制作方法
一种抑制空间烧孔效应的分布反馈激光器的制作方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长介质掩模,涂光刻胶,光刻,两条介质掩模形成介质掩膜图形,两条介质掩模之间为生长窗口;步骤3:在制作有介质掩膜图形的...
张灿
梁松
朱洪亮
马丽
抑制空间烧孔效应的分布反馈激光器的制作方法
一种抑制空间烧孔效应的分布反馈激光器的制作方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长介质掩模,涂光刻胶,光刻,两条介质掩模形成介质掩膜图形,两条介质掩模之间为生长窗口;步骤3:在制作有介质掩膜图形的...
张灿
梁松
朱洪亮
马丽
文献传递
用于WDM-PON的宽带可调谐脊波导DBR激光器
可调谐激光器作为现代波分复用(WDM)光学通信系统[1]的关键器件受到广泛关注,较固定波长的分布反馈(DFB)激光器而言,可调谐激光器的使用极大地减少了WDM系统的搭建和运作费用.与取样光栅分布布拉格反射(S GDBR)...
韩良顺
梁松
朱洪亮
赵玲娟
张灿
余力强
王圩
可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法
本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯,管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层,在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导,在...
余力强
梁松
赵玲娟
张灿
吉晨
文献传递
DFB激光器阵列集成器件的热串扰分析
对研制出的DFB激光器阵列与MMI、SOA的单片集成器件进行了初步的电注入热串扰分析.在20℃下的测试温度下,当邻近支路的激光器注入电流发生改变时,测试支路的激光器波长发生红移;两者距离为100μ M且电流变化在L00M...
韩良顺
马丽
张灿
梁松
朱洪亮
关键词:
电注入
文献传递
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单片集成钛薄膜热电阻可调谐DFB激光器的制作方法
本发明公开了一种单片集成钛薄膜热电阻可调谐DFB激光器的制作方法,包括:选择一磷化铟衬底1;在该衬底1上依次外延生长缓冲层2、多量子阱有源区3;在多量子阱有源区3的表层采用全息曝光刻蚀制作均匀光栅4;在均匀光栅4上生长包...
张灿
梁松
朱洪亮
文献传递
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