2024年8月25日
星期日
|
欢迎来到贵州省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
张茂平
作品数:
6
被引量:4
H指数:2
供职机构:
华南师范大学
更多>>
发文基金:
国家教育部博士点基金
广东省自然科学基金
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
理学
电子电信
机械工程
自动化与计算机技术
更多>>
合作作者
陈俊芳
华南师范大学物理与电信工程学院
符斯列
华南师范大学物理与电信工程学院
向鹏飞
华南师范大学物理与电信工程学院
蒙高庆
华南师范大学物理与电信工程学院
史磊
华南师范大学物理与电信工程学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
2篇
期刊文章
2篇
专利
1篇
学位论文
1篇
会议论文
领域
3篇
理学
1篇
机械工程
1篇
电子电信
1篇
自动化与计算...
主题
6篇
等离子体
2篇
氮化
2篇
氮化钛
2篇
等离子体参数
2篇
电子束蒸发
2篇
陶瓷
2篇
内应力
2篇
钨丝
2篇
绝缘陶瓷
2篇
固定法
2篇
变温
1篇
等离子体密度
1篇
低温等离子体
1篇
电压
1篇
电压范围
1篇
栅压
1篇
离子
1篇
离子密度
1篇
离子源
1篇
密度检测
机构
6篇
华南师范大学
作者
6篇
张茂平
5篇
陈俊芳
4篇
符斯列
2篇
李炜
2篇
李贇
2篇
史磊
2篇
蒙高庆
2篇
向鹏飞
1篇
赖秀琼
1篇
杨春林
1篇
吴先球
1篇
田琴
1篇
熊予莹
传媒
2篇
华南师范大学...
1篇
第十届全国M...
年份
1篇
2010
3篇
2007
1篇
2006
1篇
2005
共
6
条 记 录,以下是 1-6
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台,由密封中空盘部件、固定支架部件、加热管部件和温度传感器部件连接构成。其中,密封中空盘部件由基片板、侧板、底盘和绝缘陶瓷固定连接构成;固定支架部件由金属套管、射频天线和固定法兰连接构成;加...
陈俊芳
符斯列
张茂平
李贇
李炜
文献传递
电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布
2005年
利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放电气压和不同偏压下反应室内的等离子体密度分布.通过对反应室中等离子体空间分布的分析,得到离子密度均匀区域、合适的反应气压和合适的加速栅电压、减速栅电压范围.
蒙高庆
陈俊芳
向鹏飞
熊予莹
吴先球
符斯列
张茂平
关键词:
电子束蒸发
等离子体
LANGMUIR探针
离子密度
电压范围
栅压
离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究
被引量:2
2006年
采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀.
张茂平
陈俊芳
蒙高庆
向鹏飞
史磊
赖秀琼
关键词:
氮化钛
低温等离子体增强电子束蒸发沉积TiN的研究
TiN呈金黄色,硬度大,熔点高,抗腐蚀性、抗磨损性及抗氧化性好,导电性和导热性良好,在机械工业、微电子制造业、珠宝装饰业、玻璃制造业等领域具有广范的应用前景。 制备TiN薄膜的方法主要有多种沉积法,如:...
张茂平
关键词:
氮化钛
文献传递
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台,由密封中空盘部件、固定支架部件、加热管部件和温度传感器部件连接构成。其中,密封中空盘部件由基片板、侧板、底盘和绝缘陶瓷固定连接构成;固定支架部件由金属套管、射频天线和固定法兰连接构成;加...
陈俊芳
符斯列
张茂平
李贇
李炜
文献传递
基于FPGA的等离子体密度自动诊断系统
本文提出了一种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog ...
史磊
陈俊芳
张茂平
符斯列
杨春林
田琴
关键词:
等离子体
FPGA
密度检测
文献传递
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张