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徐欣
作品数:
22
被引量:57
H指数:3
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
机械工程
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合作作者
谈宜东
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王一帆
清华大学
李岩
清华大学机械工程学院精密仪器与...
张书练
清华大学
尉昊赟
清华大学
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六自由度光学式测量装置及测量方法
本申请涉及一种六自由度光学式测量装置以及测量方法,整个装置包括激光器输出模块、光束分收模块、分光合束模块、信号探测模块和信号处理模块;激光器输出模块输出至少两束线偏振激光至光束分收模块;光束分收模块将接收到的光分出M束光...
谈宜东
刘劲松
徐欣
非接触式转动角位移测量装置及测量方法
本申请涉及一种非接触式转动角位移测量装置及测量方法,激光光束经过测量组件,即形成第一频率激光光束和第二频率激光光束,并在待测圆台一交点上散射形成第一测量回馈光束和第二测量回馈光束,随后回到激光发射装置并与激光发射装置内的...
谈宜东
徐欣
代宗仁
王一帆
文献传递
激光干涉精密测量与应用
被引量:34
2021年
"没有测量就没有科学",对物理量越来越精确的测量已成为现代科学和技术领域孜孜追求的目标。激光干涉精密测量具有可溯源,纳米甚至皮米高分辨率,以及数米、几千米甚至上千千米的超长测量范围等突出优点,被广泛用于IC装备、数控机床、超精密微纳制造、引力波探测等先进技术和前沿科学领域。清华大学激光精密测量与应用课题组长期围绕激光干涉和激光回馈干涉开展研究,先后在大频差、高功率保持的新原理双频激光器、用于无靶镜纳米测量的回馈干涉原理研究方面取得了突破,研制出新型双频激光干涉仪和激光回馈干涉仪,并在多个领域开展了应用研究。本文详细总结了课题组最近十年的研究成果,在此基础上展望了激光干涉精密测量与应用研究领域的发展前景。
谈宜东
徐欣
张书练
关键词:
激光光学
激光干涉
相位延迟量和快轴方位角的测量装置及方法
本申请涉及一种相位延迟量和快轴方位角的测量装置及方法。相位延迟量和快轴方位角的测量装置包括:激光器,用于输出激光;准直透镜,用于准直激光器输出的激光;第一半波片,设置在激光器的激光光路上;衰减片,设置在激光器的激光光路上...
谈宜东
邓世炜
徐欣
杂散光测量装置及方法
本申请涉及一种杂散光测量装置及方法,利用激光器输出激光。输出后的激光经分光镜和准直透镜进入声光移频单元进行移频。移频后的移频光经收集透镜聚焦到待测物表面上。之后,利用收集透镜收集待测物表面的杂散光。被收集的杂散光经声光移...
谈宜东
田明旺
徐欣
杂散光测量装置及方法
本申请涉及一种杂散光测量装置及方法,利用激光器输出激光。输出后的激光经第一分光镜、准直透镜以及第二分光镜进入声光移频单元进行移频。移频后的移频光经第一反射镜转折,使其以设定的角度照射到待测物表面上。利用收集透镜收集待测物...
谈宜东
田明旺
徐欣
折射率测量装置及测量方法
本申请涉及一种折射率测量装置及方法,激光出射装置出射测量光和探测光,测量光经过光纤环形器进入双光路差动补偿装置,经过分光、差分移频以及光纤光栅的作用形成补偿后的测量光。补偿后的测量光经过光纤环形器回到激光出射装置进行调制...
谈宜东
代宗仁
徐欣
王一帆
文献传递
相位延迟量和快轴方位角的测量装置及方法
本申请涉及一种相位延迟量和快轴方位角的测量装置及方法。相位延迟量和快轴方位角的测量装置包括:激光器,用于输出激光;准直透镜,用于准直激光器输出的激光;第一半波片,设置在激光器的激光光路上;衰减片,设置在激光器的激光光路上...
谈宜东
邓世炜
徐欣
非接触式转动角位移测量装置及测量方法
本申请涉及一种非接触式转动角位移测量装置及测量方法,激光光束经过测量组件,即形成第一频率激光光束和第二频率激光光束,并在待测圆台一交点上散射形成第一测量回馈光束和第二测量回馈光束,随后回到激光发射装置并与激光发射装置内的...
谈宜东
徐欣
代宗仁
王一帆
杂散光测量装置及方法
本申请涉及一种杂散光测量装置及方法,利用激光器输出激光。输出后的激光经分光镜和准直透镜进入声光移频单元进行移频。移频后的移频光经收集透镜聚焦到待测物表面上。之后,利用收集透镜收集待测物表面的杂散光。被收集的杂散光经声光移...
谈宜东
田明旺
徐欣
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