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磁控溅射沉积系统设计及SiC-Al薄膜的摩擦特性研究: 本文利用自主研发的超高真空物理气相沉积设备在基材（Ti-6Al-4V）上沉积出了性能优异的SiC薄膜，并创新性地使用Al过渡层作为薄膜与基材之间的中间层，解决了二者间的结合强度问题;在薄膜中掺杂Al元素成功地解决了SiC...; 晁云峰; 关键词：磁控溅射沉积钛铝合金碳化硅薄膜; 文献传递

磁控溅射沉积系统设计及SiC-A1薄膜的摩擦特性研究: 本文利用自主研发的超高真空物理气相沉积设备在基材（Ti-6Al-4V）上沉积出了性能优异的Si C薄膜,并创新性地使用Al过渡层作为薄膜与基材之间的中间层,解决了二者间的结合强度问题;在薄膜中掺杂Al元素成功地解决了Si...; 晁云峰; 关键词：磨耗

类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性被引量：4: 2014年; 为了提高DLC（Diamond-like Carbon）类金刚石薄膜与SAE1060碳素钢基材的结合强度,以延长发动机活塞环的使用寿命,研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备.利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电,制备了具有微米类陨石坑非连续结构的DLC薄膜,并利用Ball-on-Disk摩擦评价试验机评价了薄膜的摩擦特性.着重研究了极间距S-T对薄膜表面类陨石坑密度的影响;最后利用拉曼光谱仪分析了薄膜结构和成分.结果表明：在同样的电压下,类陨石坑的密度随着电极间距的增加而减小,最佳电极间距S-T为40～60 mm,此时不仅具有比较适中的类陨石坑密度,对DLC薄膜的摩擦特性影响不大,而且具有较强的界面结合强度.当S-T为50 mm,施加载荷为3N时,薄膜的破坏寿命达到了130万循环,比光滑表面的薄膜延长了30万循环.得到的结果显示微米类陨石坑非连续结构能够有效地释放膜内的残余压缩应力,延长SAE1060碳素钢基材上沉积类金刚石薄膜的使用寿命.; 郑锦华张冲晁云峰李聪慧; 关键词：类金刚石薄膜残余应力拉曼光谱

基于Fe/Fe_(3)O_(4)双相催化剂的高性能硫正极: 2024年; 针对锂硫电池中硫正极所面临的导电性差、体积膨胀、多硫化物穿梭和制备成本高等问题,利用绿色且低成本的重金属离子絮凝剂吸附金属离子来制备Fe/Fe_(3)O_(4)-C硫正极载体材料。形貌和结构分析表明,复合材料的三维碳结构上有Fe和Fe_(3)O_(4)均匀分布。负载硫后得到的Fe/Fe_(3)O_(4)-C-S电极具有优异的电化学反应动力学,在0.1C、0.2C、0.5C、1.0C倍率下分别表现出高达908、640、524、438 mAh·g^(-1)的比容量,在0.1C倍率下循环100圈后依然能够保持62.9%的初始容量。由此可见,Fe/Fe_(3)O_(4)-C复合材料中的三维碳结构既能提高导电性,也能缓解硫的体积膨胀,而Fe/Fe_(3)O_(4)双相催化剂可以高效地吸附多硫化物并促进其转化,从而抑制了穿梭效应。; 贾圣慧晁云峰; 关键词：锂硫电池电化学性能

不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性被引量：13: 2013年; 针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si∶H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm厚度的薄膜上施加2.94N的负荷(点载荷),其疲劳破坏寿命达到了70万循环;DLC薄膜与SiC,Si3N4,SUS304和SUJ2材料之间的摩擦系数为0.1～0.15。得到的结果验证了薄膜与金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求。; 郑锦华李聪慧张冲晁云峰

RF射频法DLC类金刚石薄膜材料的开发: 郑锦华陈万仁马新灵刘建华王海峰吴金星周彩荣吴双王俊杰晁云峰; 该课题涉及到DLC类金刚石薄膜材料的制造设备系统和沉积工艺的研究。DLC薄膜是一种类似金刚石的低摩擦固体耐磨材料，在微观上由一定比例的SP3键和SP2键混合构成,是碳的一种非晶亚稳态结构，这种结构使DLC薄膜具有比天然金...; 关键词：

射频磁控溅射法沉积SiC-Al薄膜的摩擦特性被引量：3: 2014年; 利用射频法非平衡磁控溅射设备在钛合金板上沉积了非晶态SiC-Al薄膜。为了降低薄膜的摩擦系数,在薄膜中添加Al原子,同时Al也被选择为中间过渡材料来提高界面结合强度和防止界面氧化。研究结果表明：薄膜摩擦系数随着Al原子含量的增加而先减后增,并在Al含量为0.97%时达到最小值。SiC-Al薄膜对SiC和Al2O3陶瓷材料的摩擦系数比对不锈钢材料的摩擦系数低,但它与SUJ2轴承钢之间的摩擦系数最低,在0.04~0.07之间。当把Al作为中间过渡材料时,SiC-Al薄膜的破坏寿命达到了20000循环以上,明显改善了薄膜的界面结合强度;当Al中间过渡层的厚度超过0.2μm以上时,薄膜破坏表现为磨损而不发生剥离现象。另外,薄膜的耐磨强度随着Al含量的增加有所增强。; 郑锦华晁云峰张冲李聪慧; 关键词：磨耗

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晁云峰