李林
- 作品数：13 被引量：33H指数：3
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信建筑科学更多>>
- 差频式微机械加速度计的建模与仿真
- 2005年
- 针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的加速度计结构。
- 李锦明李林张文栋
- 关键词：微机械加速度计有限元仿真
- 具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺
- 本发明提供了具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺，它以硅作为衬底材料，采用多晶硅或单晶硅材料形成微结构；其特点包括驱动电极、驱动检测电极、检测电极、带驱动梳齿的驱动框架、用于连接驱动框架的柔性杆、驱动框架内带检测梳齿的...
- 李锦明张文栋李林熊继军刘俊秦丽马游春
- 文献传递
- 具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺
- 本发明提供了具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺，它以硅作为衬底材料，采用多晶硅或单晶硅材料形成微结构；其特点包括驱动电极、驱动检测电极、检测电极、带驱动梳齿的驱动框架、用于连接驱动框架的柔性杆、驱动框架内带检测梳齿的...
- 李锦明张文栋李林熊继军刘俊秦丽马游春
- 文献传递
- 差分式硅微机械陀螺的结构设计及闭环驱动研究
- 通过充分调研和详细分析目前国内外振动式硅微机械陀螺的研究状况,针对梳齿式线振动微机械陀螺存在机械耦合误差较大,无法同时具有较高带宽和灵敏度及器件品质因子较低等缺点,本论文提出一种同时具有较高带宽和灵敏度的差分式硅微机械陀...
- 李林
- 关键词：硅微机械陀螺差分式真空封装
- 文献传递
- 电梯群控系统仿真试验技术研究
- 李林
- 微机械数字式差频加速度计
- 本发明微机械数字式差频加速度计，特点是采用框架结构，其外检测质量块的共振音叉驱动与感应电极等构成两级自振荡装置。两极共振音叉用来驱动整个结构并且输出信号；在没有受到垂直检测质量块沿Y轴方向加速度时，一级、二级框架结构会以...
- 李锦明张文栋李林
- 文献传递
- 电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究被引量：6
- 2006年
- 品质因子是判断微结构加工质量的重要标准,特别是经过真空封装的微机械结构,它的品质因子大小可从几百到几万,具有很大的散布范围,因此对真空封装微机械陀螺品质因子的测试就显得格外重要.本文详细阐述了电容式微机械陀螺品质因子测试的基本原理,提出对静电激励-电容检测陀螺和机械激励-电容检测陀螺品质因子测试的具体方法,并对这两种方法的测试结果进行了对比分析.
- 李锦明张文栋李林
- 关键词：微机械陀螺品质因子
- 梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析被引量：3
- 2006年
- 微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器。提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件———支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁的弹性系数进行了分析比较,最终得出可以采用简化模型代替整体模型对微机械陀螺中的支撑梁进行分析的结论,为陀螺支撑系统的仿真和分析提出了新的思路。
- 李林李锦明张文栋
- 关键词：角速率传感器微机械陀螺有限元分析
- 微机械陀螺真空封装玻璃罩子加工工艺的研究
- 2005年
- 在硅微机械加工中,封装加工是非常重要的一个过程,对微机械器件实现真空封装后可以极大的提高它的灵敏度等各项技术指标,但目前国内对微机械传感器真空封装技术不成熟.本文主要讲述对陀螺采用玻璃封装时,用于封装的玻璃罩子的加工过程以及玻璃罩子在整个结构中所起的作用,同时叙述了玻璃罩子与微机械结构的键合过程.
- 李锦明李林张文栋
- 关键词：真空封装
- 微机械数字式差频加速度计
- 本发明微机械数字式差频加速度计，特点是由半导体衬底、柔性杆、框架结构、检测质量；框架结构上下两侧的共振音叉驱动与感应电极等构成两级自振荡装置。两极共振音叉用来驱动整个结构并且输出信号；在没有受到垂直方向加速度时，一级、二...
- 李锦明张文栋李林
- 文献传递
