李秀宇
- 作品数:4 被引量:3H指数:1
- 供职机构:山东大学信息科学与工程学院更多>>
- 相关领域:电子电信电气工程机械工程更多>>
- 采用粉末溅射的SnO_2/CeO_2薄膜气敏材料及元件被引量:3
- 2004年
- 为改善气敏元件的性能,提高稳定性,采用粉末反溅研制了SnO2/CeO2乙醇敏感材料,结果表明:灵敏度在CeO2掺杂范围4%-32%、膜厚100-180nm时较佳,特征时间τ与膜厚l遵循τ∝l2规律,研制出乙醇灵敏度20-80、特征时间<15s的微型平面旁热式SnO2气敏元件;元件灵敏度测试存在一个4.5-10.5V相对稳定的测试电压区间,且在湿度影响下显著降低。
- 邢建平蔡成森李娟孟令国李秀宇高红
- 关键词:气敏元件
- 微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
- 利用粉末反溅研制了SnO<,2>/CeO<,2>Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,...
- 邢建平李秀宇曾繁泰李伟业蔡成森李娟孟令国
- 关键词:气敏MATLAB
- 文献传递
- 微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
- 利用粉末反溅研制了SnO/CeO Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matl...
- 邢建平李秀宇曾繁泰李伟业蔡成森李娟孟令国
- 关键词:气敏MATLAB
- 文献传递
- 微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
- 2004年
- 利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.
- 邢建平李秀宇曾繁泰李伟业蔡成森李娟孟令国
- 关键词:气敏MATLAB