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杨谢威
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深圳大学光电工程学院
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Mg、F 共掺p型SnO2薄膜的光电性质研究
本文将Mg、F共掺SnO2,考察不同掺杂比例下对SnO2薄膜光电性质的影响,并探讨实现p-型非晶氧化物TFT的可行性。结果表明,采用Mg、F共掺杂SnO2,不仅能扩宽SnO2薄膜的光学带隙,同时随着掺杂量的增加,SnO2...
廖巧生
李庆青
王智勇
杨瑞博
杨谢威
杜长运
偰正才
牛憨笨
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半导体薄膜
光电性质
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