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梁嵘

作品数：10 被引量：42H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：香港蒋氏工业慈善基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 5篇面粗糙度
  • 5篇粗糙度
  • 4篇外差
  • 4篇外差干涉
  • 4篇激光
  • 4篇干涉仪
  • 4篇表面粗糙度
  • 3篇自动聚焦
  • 3篇外差干涉仪
  • 2篇信号
  • 2篇软X射线
  • 2篇全息
  • 2篇全息术
  • 2篇激光全息
  • 2篇激光全息术
  • 2篇激光外差
  • 2篇激光外差干涉
  • 2篇激光外差干涉...
  • 2篇共光路
  • 2篇光外差

机构

  • 10篇清华大学

作者

  • 10篇梁嵘
  • 8篇李达成
  • 8篇曹芒
  • 4篇赵洋
  • 4篇赵洪志
  • 2篇武勇军
  • 2篇王佳

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇光学技术
  • 1篇光学学报
  • 1篇应用激光
  • 1篇现代计量测试
  • 1篇光电工程
  • 1篇激光与红外
  • 1篇第四届全国无...

年份

  • 3篇1999
  • 4篇1998
  • 2篇1997
  • 1篇1996
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制
1997年
光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中，待测表面粗糙度的差异，使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏，而使表面粗糙度测量结果的精度大大降低。本文着重讨论了测量信号的自动电压控制的原理及设计中的考虑，所制作的自动电压控制电路输入信号峰-峰值的动态范围1mV～5V，输出信号峰一峰值最大变化小于±10mV。结出了实验结果。
赵洪志梁嵘李达成曹芒
关键词：外差干涉仪表面粗糙度自动电压控制
表面粗糙度干涉仪中光探针的自动聚焦控制
1998年
要保证测量光聚焦在待测表面，自动聚焦控制是非常重要的。文中给出了基于离焦检测的自动聚焦控制原理和技术实现，其聚焦灵敏度达０．１μｍ，聚焦范围０．５ｍｍ，频带宽度为４０Ｈｚ。它为表面粗糙度干涉仪的高分辩率测量提供了保证，并为实验所证实。该技术具有很强的实用开发价值。
赵洪志梁嵘曹芒李达成
关键词：粗糙度干涉仪自动聚焦信号检测
软X射线激光全息术的研究
该文对软X射线激光的时间相干性和空间相干性做了理论分析,给出了它们的计算方法.建立了夫朗和费同轴全息和无透镜傅利叶变换全息的数学模型,实现了全息图的计算机生成和再现.计算机生成的全息图和可见光拍摄的全息图相一致.此外利用...
梁嵘
表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响
1999年
以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。
梁嵘李达成曹芒赵洋
关键词：光学探针SPM扫描探针显微镜
X射线显微术与纳米探测被引量：1
1997年
本文介绍了Ｘ射线显微术。
曹芒李达成梁嵘赵洋王佳
关键词：X射线显微术
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪被引量：22
1999年
一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计，使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法，实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。该仪器的纵向和横向分辨率分别为０．３９ｎｍ和０．７３μｍ；自动聚焦范围为±０．５ｍｍ，在焦点±２５μｍ范围内，聚焦精度为１μｍ；８０分钟内整机稳定性：３σ＝１．９５ｎｍ。
梁嵘李达成曹芒赵洪志武勇军
关键词：表面粗糙度在线检测共光路外差干涉仪
共路光探针外差干涉法测量表面粗糙度的研究
现代超精加工的发展和生产自动化程度的提高,对表面粗糙度在线检测提出了迫切的要求.该文围绕利用光探针法在线测量表面粗糙度展开研究工作.在分析几种典型的精加工表面的微观轮廓特征基础上,研究了共路光探针外差法在线测量表面粗糙度...
梁嵘
关键词：外差干涉粗糙度自动聚焦
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪
新型的、用于磨床上在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。仪器体积小（25×20×10cm<'3>）、抗外界环境干扰能力强。该仪器以稳定频半导体激光器（LD）作为光源。共光路...
梁嵘李达成曹芒赵洪志武勇军
关键词：表面粗糙度共光路外差干涉自动聚焦
表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势被引量：21
1998年
由于表面加工质量的不断提高，对微观形貌测量技术提出了更高的要求。传统触针式轮廓仪测量具有稳定、可靠、测量动态范围大等优点，但会划伤被测表面；而非接触式形貌测量技术克服了接触式测量易划伤表面的缺点，它主要包括光学散射法、各种光探针法、光学显微干涉法以及采用ＳＥＭ、ＳＴＭ、光子隧道显微镜和原子力显微镜（ＡＦＭ）来探测表面微观形貌的方法。各种测量方法均有其优点和局限性。光学测量方法由于受衍射限制，使其横向分辨率很难提高，在测量大斜率及台阶表面时，测量误差很大。而ＡＦＭ被公认为是一种理想的表面微观形貌测量方法。此外，在表面微观形貌评定方面，国际上正积极探索各种三维评定参数以取代原来的二维参数。
梁嵘李达成曹芒赵洋
关键词：表面微观形貌测量技术
软X射线激光全息术及其计算机模拟仿真
1998年
软Ｘ射线激光全息术采用短波长Ｘ射线激光光源，从而可获得空间分辨率很高的三维全息图，但目前它还存在许多问题。用计算机来模拟仿真提供了一种有力手段。本文采用方块、英文字母、汉字等作样品，对无透镜傅利叶变换软Ｘ射线激光全息术作了模拟仿真，其结果和可见光全息实验及理论都相符合。
梁嵘曹芒李达成王佳赵洋
关键词：软X射线激光全息计算机模拟全息术
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