楼晓波
- 作品数：5 被引量：15H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划长江学者和创新团队发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- ZnO薄膜的制备与性能分析
- 氧化锌(ZnO)是一种具有六方纤锌矿晶体结构的宽禁带II-VI族半导体材料，由于其优良的特性，在太阳能电池、紫外探测器、声表面波器件、气敏传感器、透明电极等方面得到了广泛的应用。近年来，由于Al掺杂的ZnO薄膜(ZAO)...
- 楼晓波
- 关键词：溶胶凝胶磁控溅射光电特性导电薄膜
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法生长(002)高度择优取向的ZnO∶Al薄膜被引量：6
- 2008年
- 采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了高度择优取向的ZnO∶Al薄膜。用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）分别对薄膜结构和形貌进行了表征,用紫外-可见透射光谱和四探针研究了薄膜的光电性能。结果表明：制备的ZnO∶Al薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的c轴择优取向;Al离子的掺杂浓度和退火温度对薄膜的结构、光电性能有一定的影响,薄膜在可见光区的光透过率为80%~95%;Al的掺杂浓度为1%样品在600℃下空气中退火1h后,薄膜最低的电阻率为7.5×10-2Ω.cm。
- 尹玉刚沈鸿烈楼晓波李斌斌高超
- 关键词：ZNO薄膜溶胶-凝胶法
- Mn掺杂ZnO纳米材料的制备与性能研究
- 2007年
- 采用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上沉积过渡族金属Mn掺杂的ZnO薄膜。将5％及7％原子比的MnO，与ZnO粉末充分混合后，加压制成靶材，通过改变溅射过程中的气氛和衬底温度沉积了Zn1-xMnxO薄膜。x射线衍射和场发射扫描电镜的分析表明：掺入≤7％的Mn原子不会改变薄膜的晶体结构，薄膜呈高度（002）晶面择优取向；薄膜表面均匀致密，颗粒尺寸约为30hm；Mn的掺入使薄膜的电学性能明显改善，但氧分压的使用或者Mn含量过大又会使薄膜的电阻率增加。
- 楼晓波沈鸿烈张惠
- 关键词：磁控溅射ZNO薄膜MN掺杂电学特性
- ZnO薄膜的结构与光学性能研究被引量：7
- 2007年
- 采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜,通过改变溶胶浓度、涂敷层数及退火温度,研究了ZnO薄膜的形貌、结构性能及光学性能。结果表明,薄膜具有六方纤锌矿结构,表面均匀致密,晶粒大小在25～35nm之间,Zn含量为0.8mol/L的溶胶经旋涂并在500℃下退火1h后可获得最高的可见光透射率,平均透射率约为94%。获得的ZnO薄膜的光学带隙在3.27～3.29eV之间。
- 楼晓波沈鸿烈张惠李斌斌
- 关键词：无机非金属材料ZNO薄膜透射光谱光学带隙
- Mn掺杂ZnO纳米材料的制备与性能研究
- 采用射频磁控溅射法在 Si(100)衬底上沉积过渡族金属 Mn 掺杂的 ZnO 薄膜．将5%及7%原子比的 MnO与 ZnO 粉末充分混合后,加压制成靶材,通过改变溅射过程中的气氛和衬底温度沉积了 ZnMnO 薄膜．X ...
- 楼晓波沈鸿烈张惠
- 关键词：磁控溅射MN掺杂电学特性
- 文献传递
