牛康康
- 作品数：13 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构被引量：8
- 2009年
- 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率为0.05μm.
- 李秋柱刘毅牛康康刘君丑修建
- 关键词：微器件白光干涉
- 基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件
- 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上...
- 张文栋丑修建熊继军薛晨阳刘俊赵振宇王静牛康康
- 文献传递
- 基于红外光干涉技术的MEMS器件形貌测量方法
- 本发明涉及MEMS器件的形貌测试，具体是一种基于红外光干涉技术的MEMS器件形貌测量方法。解决了以现有红外光干涉技术测量MEMS器件结构形貌存在的操作不易、测量误差较大等问题，基于红外光干涉技术的MEMS器件形貌测量方法...
- 薛晨阳丑修建张文栋熊继军刘俊牛康康刘毅刘君
- 基于红外光干涉技术的微纳结构内部三维形貌测量被引量：1
- 2011年
- 基于红外光在半导体材料中的透射特性,将白光扫描干涉方法从可见光波段推广到红外光波段。设计研制了Linnik结构红外光干涉系统,对具有三层台阶结构的微器件进行了无损三维形貌测试。实验结果表明,采用红外光对半导体材料微纳结构透射后的反射干涉技术,可以准确实现微纳结构内部三维形貌测量。可实现百nm量级台阶高度的准确透射测试,纵向测量误差控制在5%以内。该方法可广泛应用于半导体微纳器件结构测量技术领域,实现半导体器件封装后的内部形貌测试、键合界面质量评估以及在线工艺检测等。
- 牛康康丑修建杜妙璇薛晨阳张文栋
- 基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证
- 2010年
- 利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法.
- 刘君薛晨阳丑修建刘毅牛康康
- 基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源
- 本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块中央开设有竖直通孔，质量...
- 丑修建张文栋薛晨阳刘俊熊继军张斌珍牛康康耿文平
- 基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证
- 利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考...
- 刘君薛晨阳丑修建刘毅牛康康
- 文献传递
- 基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源
- 本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块中央开设有竖直通孔，质量...
- 丑修建张文栋薛晨阳刘俊熊继军张斌珍牛康康耿文平
- 文献传递
- 基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件
- 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上...
- 张文栋丑修建熊继军薛晨阳刘俊赵振宇王静牛康康
- 文献传递
- 一种弹道特征温度传感测试方法
- 本发明公开了一种弹道特征温度传感测试方法，包括以下步骤：(1)获取弹道环境下弹体各关键点的温度变化规律；(2)依据所述的温度变化规律，制备铅基反铁电厚膜材料；(3)采用所述反铁电厚膜材料进行微型化传感测试系统搭建；(4)...
- 丑修建刘俊张文栋薛晨阳熊继军杜妙璇关新锋牛康康
- 文献传递
