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王娟

作品数：92 被引量：95H指数：6
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：天津市重大科技攻关项目国家中长期科技发展规划重大专项天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信化学工程文化科学建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 46篇专利
  • 24篇期刊文章
  • 10篇科技成果
  • 7篇学位论文
  • 4篇会议论文

领域

  • 29篇电子电信
  • 4篇化学工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇建筑科学
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇矿业工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 18篇机械抛光
  • 17篇溶胶
  • 16篇抛光
  • 16篇化学机械抛光
  • 15篇硅溶胶
  • 13篇抛光液
  • 13篇CMP
  • 11篇密封
  • 9篇蝶阀
  • 8篇电路
  • 8篇集成电路
  • 7篇离子
  • 6篇硬密封
  • 6篇超大规模集成
  • 5篇螯合剂
  • 5篇微电子
  • 5篇纳米硅溶胶
  • 5篇活性剂
  • 5篇表面活性
  • 5篇表面活性剂

机构

  • 91篇河北工业大学
  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇天津理工大学
  • 1篇中芯国际集成...

作者

  • 91篇王娟
  • 43篇刘玉岭
  • 15篇宋阳
  • 15篇李薇薇
  • 15篇檀柏梅
  • 15篇张建辉
  • 15篇张万明
  • 14篇周建伟
  • 14篇张建新
  • 11篇牛新环
  • 9篇杨欣霖
  • 6篇张西慧
  • 6篇何彦刚
  • 6篇高宝红
  • 6篇王如
  • 4篇赵海文
  • 4篇郄彦辉
  • 4篇刘晓冬
  • 4篇王胜利
  • 4篇刘今越

传媒

  • 5篇半导体技术
  • 5篇微纳电子技术
  • 4篇电子器件
  • 2篇电子工艺技术
  • 1篇天津科技
  • 1篇河北工业大学...
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇科技风
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇无机硅化合物...
  • 1篇学园
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十四届全国...
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇中国工程院化...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 7篇2018
  • 9篇2017
  • 6篇2016
  • 7篇2015
  • 11篇2014
  • 5篇2013
  • 3篇2012
  • 5篇2011
  • 1篇2010
  • 5篇2008
  • 4篇2007
  • 7篇2006
  • 13篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 92 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微电子CMP用SiO2研磨料的制备
以水玻璃为主要原料、采用多次生长法，利用等液面、低zeta电位生长、高电位陈化等控制过程，生产出具有不同粒径、稳定的碱性单分散硅溶胶产品，并实现120nm大粒径硅溶胶生长可控，突破生长大粒径的难题。
王娟张建新刘玉岭
关键词：硅溶胶
锑化铟晶片碱性化学机械抛光后的表面洁净方法
本发明公开了一种锑化铟晶片碱性化学机械抛光后的表面洁净方法，旨在提供一种能够降低锑化铟晶片碱性化学机械抛光的后续加工成本，使用方法简单易行，能够提高晶片表面平整度和洁净度的方法。取电阻为18MΩ以上的超纯水边搅拌边加入表...
刘玉岭王娟李晖
一种外骨骼式步态康复训练装置
本发明公开一种外骨骼式步态康复训练装置，该装置主要包括支架、健肢侧外骨骼系统、健肢侧腋下支撑机构、患肢侧腋下支撑机构和患肢侧外骨骼系统；在健肢侧，应用外骨骼式运动参数检测系统检测健肢运动参数，健肢运动参数检测系统的脚踝部...
李军强王娟赵海文刘今越陈贵亮金磊磊
文献传递
集成电路铜布线与衬底碱性化学机械平坦化关键技术与材料被引量：1
2011年
探讨了集成电路铜布线与衬底碱性化学机械平坦化关键技术与材料项目的研发背景,针对理论研究的进展进行综述,指出了项目的创新之处。该项目成果已在中科院微电子所、台湾科技大学及平坦化协会和美国硅谷研发中心(SVTC)与目前国际上以Cabot公司为代表的酸性浆料进行了评估验证,获中国及美国发明专利和近10年的应用基础。
刘玉岭牛新环檀柏梅周建伟王胜利王娟
关键词：化学机械平坦化微电子技术
一种零摩擦硬密封蝶阀
本发明公开一种零摩擦硬密封蝶阀，其特征在于该蝶阀包括阀门、阀体、阀座、蝶板、阀轴、导向槽、不完全齿轮、齿条、1号导向轴、2号导向轴、自润滑轴套、联动杆、间歇机构及驱动手柄和密封装置，阀体开有通孔，且在通孔处焊接有阀颈，同...
张建辉杨欣霖谭若诗梁瑞宋阳张万明王娟雷春光
文献传递
超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法
本发明公开了一种超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法，旨在提供一种有效的降低硅溶胶中金属离子的含量，以提高晶片质量的硅溶胶的纯化方法。将盐酸注入阳离子交换树脂中搅拌，制备酸性阳离子交换树脂；然后将高金属离子含量的碱性...
刘玉岭王娟张建新
文献传递
光电器件用蓝宝石衬底高精密加工技术及应用
刘玉岭牛新环王胜利檀柏梅周建伟王娟
该项目属于无机非金属材料领域，应用于微电子及光电子、仪器仪表、航空航天、光通信、精密机械等高新技术与产品所用材料的超精密加工。　　本项目在光电器件用蓝宝石衬底高精密加工理论、技术及其应用方面获得了多项突破。首先配制了可实...
关键词：
关键词：蓝宝石衬底化学机械抛光抛光液
新型兆声清洗去除集成电路衬底硅片表面污染物的分析研究被引量：2
2006年
集成电路衬底硅片表面存在污染物会严重影响器件可靠性,非离子表面活性剂能有效控制颗粒在硅单晶片表面的吸附状态,使之保持易清洗的物理吸附。在清洗液中加入特选的非离子表面活性剂,大大提高了兆声清洗去除颗粒的效率和效果。实验表明当活性剂在清洗液的配比为1%,颗粒去除率可达95%以上。
李薇薇周建伟刘玉岭王娟
关键词：兆声清洗非离子表面活性剂
一种变拓扑Trans‑Z源逆变器
本发明公开一种变拓扑Trans‑Z源逆变器，包含第一Trans‑Z源网络、第二Trans‑Z源网络、第一直流电源、第二直流电源、第一全桥逆变器、第二全桥逆变器、第一滤波电感、第一交流电源、第九开关管、第十开关管、第九二极...
李志军张珈玮刘爽王娟奚文霞张子坤张川博
文献传递
超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的稳定方法
本发明公开了一种超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的稳定方法，旨在提供一种生产工艺简单，稳定性高的高浓度酸性硅溶胶的制备方法。首先采用阳-阴-阳三次离子交换纯化硅溶胶，之后，将交换后的硅溶胶中加入聚醚型非离子表面活性剂，硅溶...
刘玉岭王娟张西慧张建新刘承霖
文献传递
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