王振环
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 供职机构：山东理工大学理学院更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 直流磁控溅射法制备高品质钛铝共掺杂氧化锌透明导电薄膜
- 2011年
- 利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功制备出高品质的钛铝共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜。XRD研究结果表明,TAZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜,偏压为-20V时制备的厚度为365nm的薄膜的方块电阻为10.15Ω/□,最小电阻率为3.70×10^(-4)Ω·cm,所有薄膜样品在500～800nm的可见光平均透过率都超过了92%。
- 袁文峰王振环
- 关键词：透明导电薄膜偏压
- 薄膜厚度对TGZO透明导电薄膜光电性能的影响被引量：7
- 2011年
- 利用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上成功制备出了可见光透过率高、电阻率低的钛镓共掺杂氧化锌（TG-ZO）透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜研究结果表明,TGZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。研究了厚度对TGZO透明导电薄膜电学和光学性能的影响,结果表明厚度对薄膜的光电性能有重要影响。当薄膜厚度为628 nm时,薄膜具有最小电阻率2.01×10-4Ω.cm。所制备薄膜在波长为400~760 nm的可见光中平均透过率都超过了91%,TGZO薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
- 刘汉法张化福王振环
- 关键词：透明导电薄膜磁控溅射厚度
- Ti-Al共掺ZnO薄膜的应力、结构和光电性能研究被引量：4
- 2011年
- 利用直流磁控溅射工艺,在水冷玻璃衬底上成功沉积出了高透光、低电阻率的Ti-Al共掺ZnO（TAZO）透明导电薄膜。X射线衍射（XRD）研究结果表明,TAZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄膜。研究了TAZO薄膜的应力、结构以及光电性能与薄膜厚度的关系,结果表明,当薄膜厚为531 nm时,薄膜晶格畸变最小,具有最小压应力（绝对值）0.726 6 Gpa,同时具有最小电阻率3.35×10-4Ω.cm,其光学带隙大约为3.58 eV。所制备薄膜附着性能良好,在波长为400~760 nm波段的可见光中平均透过率都超过了91%。
- 刘汉法王振环
- 关键词：应力透明导电薄膜磁控溅射
