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王晓晴

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：装甲兵工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硼
  • 2篇氮化硼薄膜
  • 2篇离子束
  • 2篇离子束辅助
  • 2篇离子束辅助沉...
  • 2篇立方氮化硼
  • 2篇立方氮化硼薄...
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱分析
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇红外光谱分析
  • 1篇XPS分析

机构

  • 2篇中国机械工程...
  • 2篇装甲兵工程学...

作者

  • 2篇蔡志海
  • 2篇王晓晴
  • 2篇谭俊
  • 2篇唐云
  • 2篇张平

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究被引量：2
2003年
运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果表明: 合适的离子辅助能量能够获得c-BN含量高的薄膜; 膜中c-BN的含量随辅助气体中N2含量的提高而增加;辅助束流对薄膜的形成影响不明显。
谭俊张平蔡志海王晓晴唐云
关键词：立方氮化硼薄膜离子束辅助沉积红外光谱分析
离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究
本文运用离子束辅助沉积法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜,主要研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中立方氮化硼（c-BN）含量的影响。用红外光谱（FTIR）、及光电子能谱（XPS）分析技术对得到的c-BN膜进...
谭俊张平蔡志海王晓晴唐云
关键词：立方氮化硼薄膜离子束辅助沉积XPS分析
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