王蕾
- 作品数：6 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信生物学更多>>
- 微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制被引量：4
- 2003年
- 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片 ,芯片表面划分成 5× 7个敏感单元 ,其中每个敏感区表面设置 4 0× 4 0个硅尖阵列 ,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口。一个 5× 7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口。给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果 ,分析讨论了芯片厚度。
- 韩泾鸿张虹顾丽波徐磊陈绍凤王利王蕾
- 关键词：微结构光寻址电位传感器
- 热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：4
- 2004年
- 介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0～300kPa范围内线性相关系数为0 9997。
- 高晓童崔大付陈德勇王利王蕾
- 关键词：谐振梁压力传感器多孔硅热激励牺牲层
- 微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制
- 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅尖阵列,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口.一个5×7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片...
- 韩泾鸿张虹顾丽波徐磊陈绍凤王利王蕾
- 文献传递
- 微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺被引量：2
- 2002年
- 在微波技术研究中 ,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ,可应用于很多场合 ,如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器芯片选择具有低电阻温度系数的Ta2 N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料 ,利用半导体工艺和MEMS工艺制作 ,并最终研制成合格的芯片。芯片具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、频带宽等特点。简要介绍了芯片的结构原理 ,并详细介绍了芯片的制作工艺。
- 者文明崔大付陈德勇王利王蕾
- 关键词：热偶微波功率MEMS工艺
- 用多孔硅牺牲层技术制作热激励硅谐振梁压力传感器
- 谐振式传感器精度高、响应快、长期稳定性好,应用前景十分广阔.本文介绍了作者基于MEMS工艺和多孔硅技术,设计并制作出的一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,在开环状态下的测得该传感器在0~300K...
- 高晓童崔大付陈德勇王利王蕾
- 关键词：谐振梁压力传感器MEMS多孔硅热激励
- 文献传递
- 基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片的研制被引量：6
- 2004年
- 介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板。利用lift off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分离提供高压的Pt电极。为了提高PDMS微芯片的密封效率,同时也为了保持微流路材料的一致性,通过挤压法首先在玻璃基底上形成了一层PDMS薄膜。电泳分离实验表明:在该微芯片上能够实现DNA片段的有效分离。
- 刘长春崔大付赵强王利王蕾
- 关键词：MEMS技术DNA分离聚二甲基硅氧烷PDMS
