甘肇强
- 作品数：25 被引量：112H指数：6
- 供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省青年科技基金江苏省重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 溶胶-凝胶法制备钛酸锶铅薄膜和多层膜及其介电性质被引量：5
- 2006年
- 采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb1-xSrx)TiO3(PST)(x=0.45、0.50、0.55、0.60、0.65)均匀薄膜和多层膜,并研究了它们的介电性质。发现均匀薄膜在x=0.55(PST55)时有最大的介电常数,10kHz下为879,损耗为0.029。在与均匀薄膜相同的条件下分别制备了PST45/PST55,PST50/PST60,PST55/PST65 3种多层膜。发现PST50/PST60多层膜的介电常数得到了明显的增强,在频率为10kHz时相对于同厚度的PST55均匀薄膜从879增加到1008,而损耗依然保持较低(0.027)。研究同时表明,PST多层膜在电容-电压可调谐性和介电击穿等性质方面也较均匀薄膜有不同程度提高。与其它两种多层膜比较后发现,在PST50/PST60多层膜中处于PST55左右组分的界面层对介电性质有比较大的影响。
- 王季魁沈明荣方亮甘肇强
- 关键词：溶胶-凝胶法多层膜介电性质
- 氟化非晶碳膜的光学带隙和伏安特性被引量：1
- 2002年
- 用苯 (C6H6)和三氟甲烷 (CHF3 )混合气体作源气体 ,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)技术 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C∶F)。光学带隙的结果表明它与膜中的C、F元素含量和键结构都有关系 ;伏安特性的测量表明a C∶F薄膜的电导在低电场下呈欧姆特性 。
- 黄峰康健杨慎东叶超程珊华宁兆元甘肇强
- 关键词：光学带隙伏安特性超大规模集成电路
- 磁控溅射法制备非晶碳膜及其光学特性被引量：2
- 1999年
- 利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜，研究了溅射功率和基片温度对所沉积的薄膜的性能的影响．对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫外光谱进行了表征，所沉积的类金刚石碳薄膜是簇状分布的ＳＰ２ 碳键和网状分布的ＳＰ３ 碳键互相随机交织在一起的非晶结构．还研究了非晶碳膜的光学性质和电学性质，探索了制备各种不同光学带隙的非晶碳膜的工艺条件。
- 张月蘅徐政黄志强甘肇强
- 关键词：磁控溅射光学特性
- 电化学法预处理硅基片提高金刚石成核密度的研究被引量：2
- 1997年
- 通过用电化学法预先沉积一层碳膜的方法，利用热丝化学汽相沉积法使金刚石在光滑硅片上的成核密度达到１０７ｃｍ－２左右，与未镀碳膜相比提高了近３个数量级。文中还分析了可能的原因。
- 沈明荣汪浩宁兆元叶超甘肇强甘肇强
- 关键词：金刚石膜碳膜电化学法硅基片
- Pb_(1-x) La_xTiO_3薄膜的制备及特性研究被引量：1
- 2001年
- 用溶胶－凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｔＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制备Ｐｂ１－ｘＬａｘＴｉＯ３（ＰＬＴ，ｘ≤０．２）薄膜，研究薄膜的结构及其介电、电性质铁电性能。在６００℃ 下退火１ｈ的ＰＬＴ薄膜表现出单一的钙钛矿结构，（１００）择优取向明显。在室温下ＰＬＴ薄膜有典型的电滞回线。在ｘ≤０．２（摩尔比）的范围内，ＰＬＴ薄膜的矫顽场、剩余极化强度和随着Ｌａ的增加而降低，相对介电常数则随着Ｌａ的增加而增加。
- 郑分刚朱卫东沈明荣甘肇强葛水兵
- 关键词：溶胶-凝胶铁电薄膜
- 微波等离子体化学汽相沉积法沉积CN_x膜的研究被引量：2
- 1998年
- 对用微波等离子体化学汽相沉积法沉积在Ｓｉ基片上的ＣＮｘ膜分别进行Ｒａｍａｎ散射、Ｘ射线光电子能谱、Ｘ射线衍射和扫描电子显微镜等技术的分析与测试．Ｒａｍａｎ散射的研究结果表明在ＣＨ４与Ｎ２的流量比低于１∶８时，ＣＮｘ膜的散射谱中以非晶石墨峰的形式出现．当流量比为１∶８时，则表现为较尖锐的Ｃ≡Ｎ键（２１９０ｃｍ－１）的特征峰；从Ｘ射线光电子能谱的分析结果可以看出Ｃ，Ｎ成键的方式主要是Ｃ≡Ｎ键和Ｃ—Ｎ键，但Ｘ射线衍射谱中并没有对应于βＣ３Ｎ４相的衍射峰出现；气压对膜的沉积速率有影响．
- 辛煜范叔平狄国庆沈明荣甘肇强
- 关键词：MWPCVD微波等离子体CVD
- 掺杂比对脉冲激光沉积的ZnO:Al膜性能的影响被引量：6
- 2000年
- 用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜。通过对膜的霍尔系数测量及SEM、XRD分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。掺杂比从 0 .75 %增至 1 .5 % ,膜的载流子浓度、透光率 (波长大于 5 0 0nm)和光隙能相应增大。在掺杂比为 1 .5 %左右时沉积的膜的电阻率达到最小 ,其值为7.1× 1 0 -4 Ωcm ,且在可见光区其透光率超过了 90 %。
- 葛水兵程珊华宁兆元沈明荣甘肇强周咏东褚君浩
- 关键词：脉冲激光沉积透明导电膜
- 微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究被引量：7
- 1997年
- 研究了微波电子回旋共振－化学气相沉积ＳｉＮｘ薄膜的光学性能，这种ＳｉＮｘ薄膜具有透光谱宽、透光率高的特点，总结了透光谱、折射率、光隙能随微波功率。
- 叶超宁兆元项苏留沈明荣汪浩汪浩
- 关键词：氮化硅光学性能化学气相沉积
- 钛酸镧铅薄膜的介电、铁电性能研究被引量：9
- 2002年
- 采用溶胶 凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试 ,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响 ,结果发现在 60 0℃下退火 1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构 ;常温下 ,薄膜的矫顽场和剩余极化强度都随着掺镧量的增加而降低 。
- 甘肇强
- 关键词：铁电薄膜铁电性能
- 双离子束溅射法制备铁氮薄膜被引量：2
- 2001年
- 使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜 ,随着基片温度的变化 ,薄膜的成分是ε Fe2～ 3N、γ′ Fe4 N或是二相的混合物 ,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大。以振动样品磁强计(VSM)测定了薄膜的磁性能。另外 ,研究了在基片温度为 16 0℃时 ,改变主源中通入N2
- 甘肇强罗经国诸葛兰剑吴雪梅姚伟国
- 关键词：磁性能
