石二磊
- 作品数：6 被引量：22H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术建筑科学更多>>
- 一种硅探针的制作方法
- 本发明一种硅探针的制作方法属于测试技术领域，涉及到原子力显微镜探针的制作。采用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法制作探针，首先采用光刻法形成硅尖掩模，然后干法刻蚀梁至一定的深度，接着采用湿法同步腐蚀硅尖和梁，硅尖削尖后，从背...
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 文献传递
- PT/PZT/PT薄膜微力传感器被引量：13
- 2007年
- 提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZT薄膜退火温度同为600℃时,PZT和PT/PZT/PT薄膜均为完整的钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向;在测试频率为1 kHz时,经600℃热处理条件下制备的PZT和PT/PZT/PT薄膜的相对介电常数分别为525和981。最后应用MEMS工艺制作了基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试。测试结果表明,力与位移或电荷具有良好的线性关系。两种尺寸微力传感器的灵敏度分别为0.045 mV/μN和0.007 mV/μN,力分辨率分别为3.7μN和16.9μN,满足了微牛顿量级微小力的测量。
- 崔岩孟汉柏王兢石二磊王立鼎
- 关键词：微悬臂梁微力传感器
- 一种硅探针的制作方法
- 本发明一种硅探针的制作方法属于测试技术领域，涉及到原子力显微镜探针的制作。采用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法制作探针，首先采用光刻法形成硅尖掩模，然后干法刻蚀梁至一定的深度，接着采用湿法同步腐蚀硅尖和梁，硅尖削尖后，从背...
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 文献传递
- 掩模偏转方向对硅尖形状的影响被引量：4
- 2009年
- 为制备高纵横比的纳米硅尖,研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程,采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀(100)单晶硅的方法制备硅尖,根据实验结果和{411}晶面模型,分析了硅尖侧壁的组成晶面,讨论了掩模偏转方向对硅尖形状的影响,得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明:当腐蚀溶液浓度和温度一定时,正方形掩模的方向并不影响快腐蚀晶面的类型,利用正方形掩模的偏转,可以制备出八面体和四面体的硅尖。当正方形掩模边缘沿〈110〉晶向时,在78℃、浓度为40%的KOH溶液中腐蚀硅尖,经980℃干氧氧化3h进行削尖,可制备出纵横比>2的八面体纳米硅尖阵列,硅尖侧壁由与(100)面夹角为76.37°的{411}晶面组成。
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 关键词：硅尖各向异性掩模
- 硅微悬臂梁探针的制备工艺研究
- 随着MEMS及纳米科技的进步，悬臂梁探针在扫描探针显微镜、隧道传感器、微纳米加工、高密度数据存储中的应用越来越多，微纳米针尖的曲率半径及悬臂梁的性能决定着传感器的灵敏度。本文以硅微悬臂梁探针的制备为研究对象，采用单晶硅材...
- 石二磊
- 关键词：微纳米加工单晶硅湿法腐蚀干法刻蚀
- 文献传递
- 各向异性腐蚀制备纳米硅尖被引量：5
- 2008年
- 采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52～2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面的判别方法,讨论了实验中出现的{411}和{331}晶面族两种硅尖晶面类型,实验结果和理论分析相一致。通过分析腐蚀溶液的质量分数和添加剂对{411}、{331}晶面族腐蚀速度的影响,得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明:当正方形掩模边缘沿<110>晶向时,在78℃、质量分数40的KOH溶液中腐蚀硅尖,再经980℃干氧氧化3h进行锐化削尖,可制备出纵横比大于2、曲率半径达纳米量级的硅尖阵列。
- 石二磊崔岩夏劲松王立鼎
- 关键词：硅尖各向异性晶面掩模
