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祁增芳
作品数:
4
被引量:8
H指数:1
供职机构:
南开大学
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发文基金:
国家自然科学基金
天津市自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
牛文成
南开大学电子信息与光学工程学院
张福海
南开大学
徐春林
南开大学
张玉英
南开大学
刘俊华
南开大学电子信息与光学工程学院
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O
机构
4篇
南开大学
作者
4篇
祁增芳
3篇
牛文成
1篇
余剑平
1篇
张玉英
1篇
徐春林
1篇
俞梅
1篇
刘俊华
1篇
张福海
1篇
张福海
传媒
2篇
传感技术学报
1篇
传感器技术
1篇
半导体技术
年份
1篇
1998
1篇
1995
2篇
1990
共
4
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Ag^+ -ISFET传感器的研制
被引量:1
1990年
Ag^+-ISFET是一种新型器件。本文报道了该器件的主要研制工艺、工作原理、测试方法。给出了典型的测试电路及测试结果。
祁增芳
刘俊华
牛文成
关键词:
传感器
化学传感器
PT/LaF_(3)敏感膜MIS型固态氧传感器研制
1995年
研究了可在室温下工作,且具有Pt/LaF_3敏感膜的MIS型固态氧传感器,讨论了它的敏感机理,测试并分析了传感器的响应特性.
牛文成
俞梅
庾向东
祁增芳
张福海
关键词:
敏感膜
氧传感器
传感器
多层结构ISFET传感器特性的研究
1990年
本文着重研究了Si_3N_4/SiO_2、Ta_2O_5/SiO_2、Ta_2O_5/Si_3N_4/SiO_2、Ta_2O_5/NAS/Si_3N_4/SiO_2等多层介质结构H^+-ISFET传感器的特性,给出了实验结果,并做了必要的分析讨论。
祁增芳
余剑平
关键词:
多层结构
ISFET
传感器
场效应晶体管
用In_2O_3薄膜制成的高感度半导体O_3传感器
被引量:7
1998年
用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10×10^(-9)~1×10^(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响,发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响,以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制.
牛文成
徐春林
张福海
祁增芳
张玉英
赖斌斌
关键词:
O3
传感器
化学吸附
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