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秦佰林
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中国科学院
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王光玉
中国科学院
房伟
中国科学院
刘在行
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1篇
2009
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一种多级干式真空泵的清洗装置
本实用新型涉及真空泵清洗技术,具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置,包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路,减压阀的一端与气体输入端相连,另一端连接有质量流量控制器;气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分,质量...
王光玉
秦佰林
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刘在行
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