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秦佰林

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院更多>>

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇真空泵
  • 1篇质量流量控制...
  • 1篇清洗技术
  • 1篇两路
  • 1篇流量控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇减压阀
  • 1篇干式真空泵

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇秦佰林
  • 1篇刘在行
  • 1篇房伟
  • 1篇王光玉

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种多级干式真空泵的清洗装置
本实用新型涉及真空泵清洗技术,具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置,包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路,减压阀的一端与气体输入端相连,另一端连接有质量流量控制器;气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分,质量...
王光玉秦佰林房伟刘在行
文献传递
共1页<1>
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