郝日鹏
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 柔性微纳结构制造技术及其应用
- 姜澄宇苑伟政邓进军马炳和马志波何洋叶芳朱鹏飞王云龙郝日鹏庄成乾肖同新侯辉王文庆高洁
- “柔性微纳结构制造技术及其应用”是在国家自然科学基金、863课题等项目支持下的微机电系统(MEMS)器件加工技术的最新研究成果，属于先进制造技术领域。半导体制造技术是微纳结构的主要加工手段之一。特别是MEMS器件，继承了...
- 关键词：
- 关键词：半导体制造技术集成电路制造工艺
- 隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工
- 2013年
- 为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数;研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件。对静/动态特性进行对比测试,结果表明:在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20%,时间常数由400μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升。
- 马炳和郝日鹏邓进军朱鹏飞
- 关键词：仿真微加工
- 高速飞行器外表面高温在线测量装置及其制备、测量方法
- 本发明公开了一种高速飞行器外表面高温在线测量装置及其制备和测量方法，属于微传感器技术领域。本发明采用微加工工艺成型包含有多个薄膜热电偶的温度测量模块，将该模块内嵌于烧蚀层内，其中薄膜热电偶测温节点方向沿烧蚀层的法线方向，...
- 姜澄宇马炳和郝日鹏
- 聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究被引量：3
- 2012年
- 研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系。刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低SF6含量时呈线性,高SF6含量时出现饱和。刻蚀面的粗糙度几乎不受腔室压力的影响,而射频功率高于300 W和低SF6含量时粗糙度会急剧上升。采用腔室压力40 Pa、功率275 W、O2流量80 cm3/min、SF6流量20 cm3/min,通过RIE刻蚀获得了深度为39.5μm的微腔结构,为形成柔性基底空腔以及上悬结构等提供了技术基础。此外,对柔性基底固定技术进行了研究,提出了一种有效固定聚酰亚胺膜的新工艺方法。
- 董拴成苑伟政马炳和邓进军郝日鹏
- 关键词：酰亚胺等离子体刻蚀
- 高速飞行器外表面高温在线测量装置及其制备、测量方法
- 本发明公开了一种高速飞行器外表面高温在线测量装置及其制备和测量方法，属于微传感器技术领域。本发明采用微加工工艺成型包含有多个薄膜热电偶的温度测量模块，将该模块内嵌于烧蚀层内，其中薄膜热电偶测温节点方向沿烧蚀层的法线方向，...
- 姜澄宇马炳和郝日鹏
- 文献传递
