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陈聪

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：香港城市大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇导电
  • 2篇电源
  • 2篇栅网
  • 2篇直流高压
  • 2篇直流高压电源
  • 2篇室壁
  • 2篇高压电源
  • 2篇工作气体

机构

  • 2篇香港城市大学

作者

  • 2篇曾旭初
  • 2篇陈聪
  • 2篇郭达勤
  • 2篇朱剑豪

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
采用接地导电栅网的直流等离子体离子注入装置
一种直流等离子体离子注入装置,包括:真空室,等离子体产生器,安装在所述真空室内的靶台和高压电源,其特征是:所述真空室呈圆盘状,具有工作气体的进行口和抽气口;一个导电栅网,配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分,并且所述...
朱剑豪郭达勤曾旭初陈聪
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采用接地导电栅网的直流等离子体离子注入装置
一种直流等离子体离子注入装置，包括：真空室，等离子体产生器，安装在所述真空室内的靶台和高压电源，其特征是：所述真空室呈圆盘状，具有工作气体的进气口和抽气口；一个导电栅网，配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分，并且所述...
朱剑豪郭达勤曾旭初陈聪
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