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韩传宇

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 4篇等离子体
  • 3篇等离子体发生...
  • 3篇自由基
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘介质
  • 2篇放电
  • 2篇放电间隙
  • 2篇常压等离子体
  • 1篇等离子体损伤
  • 1篇电极
  • 1篇射频
  • 1篇天线
  • 1篇排气罩
  • 1篇接地电极
  • 1篇介质
  • 1篇介质阻挡
  • 1篇加热板
  • 1篇工作气体
  • 1篇硅衬底
  • 1篇蜂窝

机构

  • 5篇中国科学院微...

作者

  • 5篇韩传宇
  • 5篇王守国
  • 5篇赵玲利
  • 3篇贾少霞
  • 2篇张朝前

年份

  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备
一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备，包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统，其特征为：一个等离子体发生器固定在一个机械手上，该等离子体发生器是在一个壳体内由彼此绝缘的上电极和下电极构成，该上电极是安装在一...
王守国韩传宇张朝前赵玲利
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一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪
一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、介质阻挡层、三个接地电极和一个射频电源，其特征在于：射频电极和接地电极呈交替阵列排列，形成四个喷口，射频电极由介质阻挡层包裹，工作气体采用氩气和氧气的混合气体，常压...
王守国赵玲利贾少霞韩传宇
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一种基于MOS电容的等离子体损伤测试结构
一种应用于测量等离子体损伤的带有金属天线结构的MOS电容，包括电极天线、绝缘材料、通孔、多晶硅、栅极和硅衬底。该结构的特性在于一个插指状和方块形状的天线均通过通孔与MOS电容的多晶硅电极相连，可以用来收集轰击到天线上的电...
王守国赵玲利贾少霞韩传宇
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蜂窝形状等离子体自由基清洗系统
蜂窝形状等离子体自由基清洗系统，包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统，其特征为：一个等离子体发生器固定在一个机械手上，该等离子体发生器是在一个壳体内由彼此绝缘的上电极和下电极构成，该上电极是安装在一个绝缘...
王守国韩传宇赵玲利张朝前
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一种射频、介质阻挡常压辉光等离子体扫描去胶系统
本发明是一种射频、介质阻挡常压辉光等离子体扫描去胶系统，包括一个壳体、射频电源、等离子体发生器、进气管、扫描机械手和加热板，以及排气罩，其特征在于：在一个壳体的中部设有一个台面面板，在该面板的下部放置一个射频电源和多个气...
王守国赵玲利贾少霞韩传宇
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