韩国威
- 作品数：42 被引量：46H指数：3
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
- 瓦里安300XP离子注入机改造及功能开发被引量：1
- 2020年
- 在完全掌握瓦里安300XP离子注入机各部件的工作原理后,将原离子源供电系统中500 W电流源和450 W起弧电源升级为1500 W电流源和1500 W起弧电源,并集成到当前系统中.将现有不稳定的气体流量、离子源电源、分析器、源磁场和吸极高压塑料光纤隔离控制线路,升级成多通道光纤通讯光端机隔离控制系统.将一个10 cm进样终端改造成15 cm的样品卡盘,并开发了一套独立控制剂量监测系统.改造后,硼最大束流超过150μA,且可调节.15 cm圆片的片内及片间电阻不均匀性小于3.5%.利用大束流硼离子注入制备浓硼掺杂单晶硅结构层,应用到微电子机械系统压力传感器、热电器件以及纳米谐振子器件中.
- 张明亮韩国威韩国威李艳李艳杨富华
- 关键词：离子注入热电器件
- 压电执行梁结构
- 本发明提供一种压电执行梁结构，包括：一衬底电极，该衬底电极为矩形；一锚点，其制作在衬底电极上背面纵向的一侧；一压电层，其制作在衬底电极上；一第一上电极，其制作在压电层上横向的一侧；一第二上电极，其制作在压电层上横向的另一...
- 司朝伟韩国威赵永梅宁瑾杨富华
- 文献传递
- 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路
- 一种基于差分方法的MEMS器件信号检测电路，包括：一信号源；一跟随器，该跟随器的输入端与信号源的输出端连接，以跟随信号源的变化；一第一器件夹具，该第一器件夹具的一端与跟随器的输出端连接，以提供一路与信号源同相的激励信号；...
- 韩国威宁瑾孙国胜赵永梅杨富华
- 文献传递
- 高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计被引量：7
- 2014年
- MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率以增强陀螺的抗冲击性,同时保持驱动模态谐振频率不超过20 kHz,保证了陀螺的性能。采用SOG工艺制备了所设计的MEMS音叉陀螺,经过测试,该陀螺驱动模态的品质因数为5 734,检测模态的品质因数超过了430 000,具备实现高精度角速度检测的能力。在重锤上对制备的陀螺进行了抗冲击测试,测试表明该陀螺在驱动方向上的抗冲击性能达到了23 000 g,能够满足惯性导航对器件的苛刻要求。
- 司朝伟韩国威宁瑾赵永梅杨富华
- 关键词：抗冲击性惯性导航
- 谐振结构及其制作方法
- 一种谐振结构及其制作方法，结构包括：支撑梁(1)、谐振体(2)，第一电极(3)及第二电极(4)；谐振体(2)介于第一电极(3)及第二电极(4)之间，三者紧贴，谐振体(2)沿平行于第一电极(3)表面方向的横截面为椭圆或者菱...
- 杨帆司朝伟韩国威杨富华宁瑾
- 电容式微纳超声换能器及其制备方法
- 本发明公开了一种电容式微纳超声换能器及其制备方法。该电容式微纳超声换能器包括：衬底；凹槽阵列，包括多个阵列式排布的凹槽，该凹槽形成容置空间，设置于衬底的上表面；下电极板，设置于凹槽阵列的容置空间之内；上电极板，设置于凹槽...
- 张萌韩国威司朝伟宁瑾杨富华
- 文献传递
- 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路
- 一种采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路，包括：一MEMS谐振器；一低通滤波器，该低通滤波器的输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一高增益反相器，该高增益反相器的输入端与低通滤波器的输出端连接；一窄脉冲发生器，该窄脉...
- 司朝伟韩国威宁瑾刘晓东
- 文献传递
- 调节电容式MEMS陀螺仪检测端谐振频率的电路和方法
- 本发明公开了一种自动调节电容式MEMS陀螺仪的检测端谐振频率的电路，所述电容式MEMS陀螺仪包括中心质量块、驱动端和检测端，驱动端包括驱动端电极，检测端包括检测端电极，所述检测端电极具有一输入端，该输入端用于输入一偏置电...
- 韩国威司朝伟钟卫威
- 文献传递
- 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构
- 一种应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构，包括：一耦合梁；一第一支撑梁，其一端纵向固定于耦合梁上的一侧；一第二支撑梁，其一端纵向固定于耦合梁上的另一侧；该第一支撑梁和第二支撑梁相隔一预定距离。本发明具有结构尺寸小，结构...
- 司朝伟韩国威宁瑾赵永梅杨富华
- 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法
- 一种利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，包括以下步骤：1)在衬底上通过蒸发或溅射工艺生长一层易腐蚀金属；2)在易腐蚀金属的表面旋涂光刻胶，采用常规光刻工艺进行光刻，制作图形；3)采用ICP刻蚀技术刻蚀易腐蚀...
- 杨健司朝伟韩国威宁瑾赵永梅梁秀琴
- 文献传递
