关冉
- 作品数：19 被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”航天支撑技术基金更多>>
- 相关领域：机械工程文化科学自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法
- 本发明公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆锥环谐振子；设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆...
- 张卫平许仲兴成宇翔关冉张弓唐健陈文元
- 文献传递
- 石英微机械陀螺的研究进展被引量：4
- 2012年
- 首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述。最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等。
- 关冉张卫平陈文元张弓成宇翔
- 关键词：石英微机械陀螺压电效应
- 压电圆盘微机械陀螺
- 本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺，包括：一个具有支撑柱的圆盘谐振子；驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘...
- 张卫平许仲兴关冉张弓成宇翔陈文元吴校生刘武崔峰
- 文献传递
- 摇动质量块压电双轴微陀螺
- 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，...
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- 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺被引量：1
- 2014年
- 提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构,原理,同时又利用仿真分析,优化了参数,给出了该陀螺可有效工作在25 172.8 Hz的体声波二波腹模式下,频率分裂184.6 Hz,具有陀螺效应,仿真得到灵敏度为1.81μV/rad/s。最后,利用MEMS技术,对微陀螺进行了实际加工,并得到了样品。
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- 关键词：压电体声波灵敏度
- 圆环波动微机械陀螺及其制备方法
- 本发明公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆环谐振子；位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极；以及四...
- 张卫平许仲兴成宇翔关冉张弓唐健陈文元
- 文献传递
- 压电圆盘微机械陀螺
- 本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺，包括：一个具有支撑柱的圆盘谐振子；驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘...
- 张卫平许仲兴关冉张弓成宇翔陈文元吴校生刘武崔峰
- 文献传递
- 摇动质量块压电双轴微陀螺
- 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，...
- 张卫平许仲兴关冉张弓成宇翔陈文元吴校生刘武崔峰
- 文献传递
- 压电驱动电容检测的双轴陀螺仪
- <B>本发明涉及一种微机电技术领域的压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其中：圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上。上极板信号检测电极位于上极板的下端面，下极板信...
- 张卫平关冉陈文元吴校生崔峰刘武
- 具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法
- <B>本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作...
- 张卫平关冉陈文元张弓崔峰吴校生刘武
