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文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇导体
  • 4篇柔性衬底
  • 4篇卷轴
  • 4篇均匀性
  • 4篇反应槽
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体薄膜
  • 4篇衬底
  • 2篇零部件
  • 1篇电池
  • 1篇太阳电池
  • 1篇消耗量
  • 1篇裂解
  • 1篇薄膜太阳电池
  • 1篇
  • 1篇CIGS薄膜
  • 1篇CIGS薄膜...
  • 1篇SE

机构

  • 5篇中国电子科技...

作者

  • 5篇冯金辉
  • 5篇赵彦民
  • 4篇杨立
  • 4篇李微
  • 4篇李巍
  • 4篇乔在祥
  • 4篇刘兴江
  • 1篇王赫
  • 1篇赵岳
  • 1篇李微

传媒

  • 1篇电源技术

年份

  • 3篇2014
  • 2篇2012
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置
本发明涉及在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置,包括反应槽、反应溶液和卷状柔性衬底,靠近反应槽内壁的反应槽底面上垂直固装有两个卷轴;两个卷轴之间的柔性衬底面绕装于全部固定轴,构成端面为蛇形状的柔性衬底。本发明将柔性衬底绕成端...
李微李巍赵彦民冯金辉杨立乔在祥刘兴江
文献传递
在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置
本发明涉及在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置,包括反应槽、反应溶液和卷状柔性衬底,靠近反应槽内壁的反应槽底面上垂直固装有两个卷轴;两个卷轴之间的柔性衬底面绕装于全部固定轴,构成端面为蛇形状的柔性衬底。本发明将柔性衬底绕成端...
李微李巍赵彦民冯金辉杨立乔在祥刘兴江
裂解硒技术及在CIGS薄膜太阳电池中的应用
2014年
普通Se源提供的硒蒸气主要由活性较低的Sen大原子团构成(n≥4),这不利于生长高质量的CIGS薄膜。理论计算表明,等离子体裂解Se蒸气技术和热裂解Se蒸气技术均可以提供足够的能量使Sen大原子团裂解为高活性的Se2或Se。实验证明,裂解Se技术显著降低了CIGS薄膜生长过程中Se原料的使用量。高化学活性的硒蒸气使生长CIGS薄膜的动力学过程发生变化,显著改善了低温沉积CIGS薄膜性质,在一定程度上提高了相应的电池性能。因此,裂解Se蒸气技术在聚酰亚胺(PI)衬底CIGS薄膜太阳电池的研究及组件产业化领域具有很好的应用前景。
王赫冯金辉赵岳李微赵彦民
关键词:CIGS薄膜
一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法
本发明涉及一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,制备过程为:①制备反应槽材料;②在反应槽底板上安装零部件;③将四块侧面板固装于反应槽底板周围,形成一箱体;④安装柔性衬底;⑤全部浸于反应溶...
李微李巍赵彦民冯金辉杨立乔在祥刘兴江
一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法
本发明涉及一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,制备过程为:①制备反应槽材料;②在反应槽底板上安装零部件;③将四块侧面板固装于反应槽底板周围,形成一箱体;④安装柔性衬底;⑤全部浸于反应溶...
李微李巍赵彦民冯金辉杨立乔在祥刘兴江
文献传递
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