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冯金辉
作品数:
5
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供职机构:
中国电子科技集团公司第十八研究所
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
赵彦民
中国电子科技集团公司第十八研究...
刘兴江
中国电子科技集团公司第十八研究...
乔在祥
中国电子科技集团公司第十八研究...
李巍
中国电子科技集团公司第十八研究...
李微
中国电子科技集团公司第十八研究...
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赵彦民
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杨立
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李微
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乔在祥
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刘兴江
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王赫
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赵岳
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李微
传媒
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年份
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2014
2篇
2012
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在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置
本发明涉及在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置,包括反应槽、反应溶液和卷状柔性衬底,靠近反应槽内壁的反应槽底面上垂直固装有两个卷轴;两个卷轴之间的柔性衬底面绕装于全部固定轴,构成端面为蛇形状的柔性衬底。本发明将柔性衬底绕成端...
李微
李巍
赵彦民
冯金辉
杨立
乔在祥
刘兴江
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在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置
本发明涉及在柔性衬底上沉积半导体薄膜用装置,包括反应槽、反应溶液和卷状柔性衬底,靠近反应槽内壁的反应槽底面上垂直固装有两个卷轴;两个卷轴之间的柔性衬底面绕装于全部固定轴,构成端面为蛇形状的柔性衬底。本发明将柔性衬底绕成端...
李微
李巍
赵彦民
冯金辉
杨立
乔在祥
刘兴江
裂解硒技术及在CIGS薄膜太阳电池中的应用
2014年
普通Se源提供的硒蒸气主要由活性较低的Sen大原子团构成(n≥4),这不利于生长高质量的CIGS薄膜。理论计算表明,等离子体裂解Se蒸气技术和热裂解Se蒸气技术均可以提供足够的能量使Sen大原子团裂解为高活性的Se2或Se。实验证明,裂解Se技术显著降低了CIGS薄膜生长过程中Se原料的使用量。高化学活性的硒蒸气使生长CIGS薄膜的动力学过程发生变化,显著改善了低温沉积CIGS薄膜性质,在一定程度上提高了相应的电池性能。因此,裂解Se蒸气技术在聚酰亚胺(PI)衬底CIGS薄膜太阳电池的研究及组件产业化领域具有很好的应用前景。
王赫
冯金辉
赵岳
李微
赵彦民
关键词:
CIGS薄膜
一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法
本发明涉及一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,制备过程为:①制备反应槽材料;②在反应槽底板上安装零部件;③将四块侧面板固装于反应槽底板周围,形成一箱体;④安装柔性衬底;⑤全部浸于反应溶...
李微
李巍
赵彦民
冯金辉
杨立
乔在祥
刘兴江
一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法
本发明涉及一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,一种柔性衬底上沉积半导体薄膜的方法,制备过程为:①制备反应槽材料;②在反应槽底板上安装零部件;③将四块侧面板固装于反应槽底板周围,形成一箱体;④安装柔性衬底;⑤全部浸于反应溶...
李微
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