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孙广毅

作品数:28 被引量:42H指数:3
供职机构:南开大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家留学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 8篇专利
  • 7篇会议论文
  • 2篇学位论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 11篇电子电信
  • 10篇自动化与计算...
  • 3篇机械工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 9篇MEMS
  • 5篇光刻
  • 4篇可视化
  • 4篇仿真
  • 3篇电镀
  • 3篇蒸发法
  • 3篇三维数据
  • 3篇三维数据场
  • 3篇疏水
  • 3篇数据场
  • 3篇数学形态
  • 3篇数学形态学
  • 3篇体绘制
  • 3篇微机电系统
  • 3篇维数
  • 3篇可视化方法
  • 3篇刻蚀
  • 3篇机电系统
  • 3篇分层切片
  • 3篇超疏水

机构

  • 28篇南开大学

作者

  • 28篇孙广毅
  • 23篇赵新
  • 13篇卢桂章
  • 5篇金桐
  • 5篇谭宜勇
  • 5篇蒋秀芬
  • 4篇张春来
  • 3篇许林
  • 3篇张瑒
  • 2篇任亮
  • 2篇张蕾
  • 2篇王俊伟
  • 2篇金纯
  • 2篇安刚
  • 2篇张启程
  • 2篇王磊
  • 2篇卢靖宇
  • 1篇何维玮
  • 1篇刘景泰
  • 1篇赵旭

传媒

  • 3篇系统仿真学报
  • 2篇高技术通讯
  • 1篇电子技术应用
  • 1篇自动化与仪表
  • 1篇测控技术
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第26届中国...
  • 1篇第八届中国微...
  • 1篇天津市自动化...
  • 1篇第二十六届中...
  • 1篇天津市自动化...

年份

  • 1篇2018
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 5篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
  • 1篇2004
28 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于三维数据场可视化方法的虚拟MEMS加工工艺的研究
2005年
虚拟加工工艺是利用计算机产生三维图形的动态生长来模拟实际的加工过程,而如何生成真实自然的三维图形就成了关键所在。本文提出了一种基于三维数据场可视化来实现虚拟加工的方法。该方法类似于医学数据三维重建, 由一序列的分层切片的二维图像重构三维形体。首先根据给出的虚拟加工工艺数据对原始二维版图进行相应的数学形态学变换生成一系列所需的二维切片图像,然后利用这些二维切片图像对体数据场进行初始化,最后采用Marching Cubes方法从体数据场中构造出等值面。本文主要阐述了如何根据工艺参数对原始版图进行数学形态学变换以及如何构造体数据场进行等值面的绘制。
孙广毅赵新卢桂章
关键词:三维数据场可视化数学形态学分层切片
基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现
本文提出了基于体绘制技术的虚拟光刻系统。该系统支持BMP格式掩膜图形输入,拥有完整的衍射和驻波模型。与其他光刻模拟器相比,本系统最大的特点是实现了仿真结果的三维可视化,并支持旋转、剖切等交互式操作,使用户能够更好地观察光...
张启程孙广毅赵新王俊伟金纯卢桂章
关键词:衍射驻波体绘制
文献传递
基于MEMS的可穿戴无线体域网设计与实现被引量:1
2015年
针对高精度低成本可穿戴式人体动作捕捉,采用MEMS微惯性传感单元(IMU)设计实现无线体域网系统。系统由六轴微惯性单元MPU^5050、三轴地磁仪AK8975、微处理器及射频模块CC2530构成。首先,详细讨论系统硬件构架和基于Z-Stack的软件构架,然后通过上位机Matlab用户程序进行数据采集与实验验证。实验结果表明,与其他微惯性传感器系统相比,本设计采用高集成度的芯片和无线通信方式,在减小硬件体积的同时能够获得较高精度的数据(角度传感器零漂<1.5°),对实现可穿戴无线惯性测量有着积极的作用。
宋银灏费允锋张瑒许林孙广毅
关键词:微机电系统CC2530
一种基于UWB的三维室内定位系统
一种基于UWB的三维室内定位系统,涉及无线通信网络定位技术领域,包括固定在定位目标上的标签,至少四个固定在室内坐标已知的基站,以及一个定位终端。利用标签轮询与通讯范围内基站进行双向测距,避免了标签和基站之间的需时钟同步问...
孙广毅卢靖宇赵新
文献传递
高深宽比微纳结构模拟、加工及应用
高深宽比微纳结构目前在生物传感器、三维微型电池、光子晶体、三维集成电路金属互连等领域中展现出巨大的潜在应用价值。例如,基于高深宽比金属互连的下一代三维多层集成电路在响应时间、集成度以及可靠性上明显优于目前普遍采用的二维集...
孙广毅
关键词:高深宽比深反应离子刻蚀电镀
文献传递
一种复合结构热沉制备方法
本发明公开了一种复合结构热沉制备方法,涉及电子设备散热技术领域。该方法制作出的热沉具有两级的复合结构,第一级结构为宏观的肋片结构,第二级结构为肋片表面上的微观结构。由于这种两级的复合结构,使用该发明制作的热沉换热表面积较...
孙广毅郑德印赵新
文献传递
基于三维数据场可视化方法的虚拟MEMS加工工艺的研究
虚拟加工工艺是利用计算机产生三维图形的动态生长来模拟实际的加工过程,而如何生成真实自然的三维图形就成了关键所在。本文提出了一种基于三维数据场可视化来实现虚拟加工的方法。该方法类似于医学数据三维重建, 由一序列的分层切片的...
孙广毅赵新卢桂章
关键词:三维数据场可视化数学形态学分层切片
文献传递
一种光电化学刻蚀设备
本实用新型公开了一种光电化学刻蚀设备,用于制备高深宽比硅微纳结构的加工。由左右两个腔体合并组成的腔室,在左腔体上固定有作为阳极的硅片,硅片的背后有铜圈,所述的铜圈中间设有通孔,通孔内放置光源;所述的右腔体中设有作为阴极的...
孙广毅蒋秀芬赵新
文献传递
一种电容式微加速度计的结构设计和工艺仿真被引量:1
2006年
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.
金桐赵新谭宜勇孙广毅卢桂章
关键词:MEMS电容式微加速度计
基于虚拟现实技术的MEMS设计环境
赵新卢桂章刘景泰安刚张蕾张红光谭宜勇任亮王凯杜书印金桐孙广毅李亚威周弋云
该课题在现有的静态分析基础上,研究对所设计的MEMS器件建立动态(运动)模型;针对特定的工艺过程,提取专家知识,建立虚拟工艺;建立MEMS部件库的整体框架,部件描述和应用将现有成功的MEMS器件,收集进入部件库;以部件库...
关键词:
关键词:虚拟现实
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