崔晋
- 作品数：5 被引量：12H指数：3
- 供职机构：河北大学物理科学与技术学院静电研究所更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信电气工程更多>>
- 针辊式高压静电分选电场的数值模拟被引量：7
- 2015年
- 直接测量静电分选电场非常困难。为形象直观地表达分选电场的分布特征,利用MATLAB软件模拟了针辊间高压放电过程。建立针辊式分选机实验装置的简化模型,选取装置周围1 m3正方体空间为初始边界。采用有限差分法求解模型、用迭代法求解差分方程组、用插值法进行函数逼近,分别对单针、单针与转辊、5针、5针与转辊的静电场进行了模拟。结果表明:针电极附近等势线密集,越往外等势线越稀疏;相邻放电针间距较小时,同性电荷互相排斥,针间电场强度明显减弱;针与转辊之间的等势线密集,转辊之外及针电极上部的等势线衰减迅速。模拟结果准确地描绘出了静电场分布规律,为静电分选机的实际设计提供了理论依据。
- 张子生王艺崔晋孙博王春胜
- 关键词：静电分选静电场高压放电电场线等势线
- 铜化学机械平坦化过抛过程中平坦化效率的计算方法被引量：4
- 2016年
- 为了确保整个晶圆片上残余铜的去除,精抛后的过抛步骤至关重要,然而在铜过抛过程中会产生铜碟形坑和介质蚀坑等问题,去除残余铜的同时控制铜碟形坑和介质蚀坑是铜化学机械平坦化(CMP)研究的最重要的课题之一。为了解决这一问题,提出了一种铜过抛化学机械平坦化过程中基于氧化反应的平坦化效率计算方法。实验显示该方法计算结果与实验数据一致。采用碱性铜精抛液对铜光片进行抛光,获得的数据显示,增加过氧化氢浓度可以获得较低的铜去除率以及几乎为零的阻挡层去除速率。布线片CMP的结果表明,增加过氧化氢浓度可以获得较小的碟形坑。对含有不同浓度过氧化氢的抛光液进行电化学实验研究,研究结果表明在铜表面有钝化层形成。综上所述,该计算方法是计算过抛过程平坦化效率的适当方法。
- 高娇娇刘玉岭王辰伟王胜利崔晋
- 关键词：过氧化氢钝化层
- 新型碱性阻挡层抛光液的研究(英文)
- 2014年
- 为了达到Ta的高去除速率,通过实验改变碱性阻挡层抛光液中各组分的体积分数,研究各组分变化对阻挡层材料Cu和Ta抛光速率的影响。碱性阻挡层抛光液中,首先确定磨料及去离子水的比例,然后再改变盐酸胍和螯合剂等组分体积分数,得到Cu和Ta抛光速率的变化规律,便于选取此条件下阻挡层抛光液最佳配比。通过各种测试手段表征抛光液对12英寸(1英寸=2.54 cm)布线片碟形坑修正能力及铜布线表面粗糙度的影响。结果表明,Ta和Cu材料的抛光速率随各组分变化规律明显,当磨料体积分数为30%、盐酸胍体积分数为3%以及螯合剂体积分数为1%时,可以达到Ta和Cu的最大抛光速率差。优化后的新型阻挡层抛光液1 min内可以实现碟形坑的有效修正及粗糙度的明显降低。
- 高娇娇刘玉岭王辰伟崔晋
- 关键词：去除速率
- 针辊式高压静电分选电场数值模拟
- 由于静电分选电场直接测量困难,为了能够形象直观的表达电场的分布特征,利用MATLAB软件模拟了针辊间高压放电过程。建立针辊式分选机实验装置的简化模型,选取装置周围1立方米空间为初始边界。采用电磁场数值分析中的有限差分法、...
- 张子生王艺崔晋孙博王春胜
- 关键词：静电分选MATLAB高压放电电场分布等势线
- 文献传递
- 针辊式高压静电分选机电晕极结构优化被引量：5
- 2015年
- 为提高针辊式高压静电分选机的分选效率,须寻求最佳的电晕极结构.利用自制针辊式高压静电分选机,固定针辊距离为d=50mm,进行针辊放电实验.通过调整电晕电压、放电针间距及长短针排列方式,探讨分选电场分布规律,对针结构进行优化.结果表明,放电效果随针间距减小会出现先增强后减弱的过程,当针间距为12mm时达到最大值;在最佳针间距下,将针的长度按30mm-15mm-30mm的方式排列,得到了更好的放电效果,转辊表面电荷量在15kV时可提高33%;应用Matlab软件,模拟了不同针间距对放电的影响,为静电分选机的优化设计提供了依据.
- 张子生崔晋高娇娇张嘉曦王春胜
- 关键词：静电分选
