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庄可

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院化学研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 1篇乙烯
  • 1篇应力
  • 1篇应力释放
  • 1篇图案化
  • 1篇聚苯
  • 1篇聚苯乙烯
  • 1篇刻蚀
  • 1篇激光
  • 1篇激光刻蚀
  • 1篇光刻
  • 1篇苯乙烯
  • 1篇

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇庄可
  • 1篇肖珂
  • 1篇王国杰
  • 1篇江雷

传媒

  • 1篇高等学校化学...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
热诱导金属/聚合物膜体系图案化控制的研究
微加工图案化技术在现代科学技术的发展中占有重要的地位。本工作围绕金属/聚合物复合膜体系,研究其在热诱导下发生的表面形貌变化,并实现该体系的可控图案化设计。主要具体内容如下: 一、研究了热诱导金属/聚合物膜系表面...
庄可
热诱导金属/聚合物膜系图案化控制的研究被引量:1
2004年
We described the appearance of complex, patterned structures induced by the buckling of metal thin films owing to thermal contraction on a polymer substrate. Polystyrene(PS) films with thickness of 100 μm were casted onto a glass substrate, and the Pt thin films with thickness of 30 nm were deposited onto the polymer surface. The sample films were heated above the glass transition temperature of PS. After cooling to ambient temperature, the disordered wrinkles generated over the whole surface. When we ablated the top metal thin film by laser before heating the polymer, the disordered bucking wrinkles would transfer into ordered ridges pattern. This patterning process is arresting and potentially useful to fabricate optical devices such as diffraction gratings and optical sensors.
庄可肖珂王国杰江雷
关键词:图案化应力释放激光刻蚀聚苯乙烯
共1页<1>
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