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张银

作品数：30 被引量：25H指数：2
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：文化科学交通运输工程电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 3篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 10篇文化科学
  • 3篇交通运输工程
  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇理学

主题

  • 9篇光刻
  • 9篇光刻机
  • 8篇电机
  • 6篇大行程
  • 6篇电机驱动
  • 6篇仪器
  • 6篇直线电机
  • 6篇直线电机驱动
  • 6篇精密仪器
  • 6篇工件台
  • 5篇刚度
  • 4篇柔性铰链
  • 4篇气浮
  • 4篇狭缝
  • 4篇隔振
  • 4篇隔振效果
  • 4篇隔振装置
  • 4篇光阑
  • 4篇恒力
  • 4篇长行程

机构

  • 30篇哈尔滨工业大...

作者

  • 30篇张银
  • 26篇吴剑威
  • 16篇谭久彬
  • 14篇赵鹏越
  • 4篇赵博
  • 2篇崔继文
  • 2篇王辉
  • 1篇裴玉龙

传媒

  • 1篇交通与计算机

年份

  • 14篇2022
  • 1篇2021
  • 5篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2008
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构
一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线...
赵鹏越张银赵博吴剑威晏祯卓
一种多光阑共面的可变狭缝装置
本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于...
吴剑威温众普张银彬德尔崔继文谭久彬
文献传递
一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑
本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个...
温众普吴剑威彬德尔张银谭久彬
基于干涉仪测量的动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
基于干涉仪测量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、工件台充电装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪...
吴剑威张银谭久彬
文献传递
一种长行程准零刚度柔性导向机构
本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电...
吴剑威张银李一帆赵鹏越晏祯卓
文献传递
基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置
本发明公开一种基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置；该装置通过双层的力封闭式气浮结构，实现了二维的气浮支承与导向，并提高了单位气浮工作面上的转动刚度，最终通过结合精密驱动与反馈控制，达到高速、高加速、高频运动的目的。本发...
吴剑威温众普张银谭久彬
基于主动平衡质量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
基于主动平衡质量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行...
谭久彬吴剑威张银
文献传递
一种光刻机掩模台隔振装置
本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等...
吴剑威李昌其张银晏祯卓潘健生赵鹏越谭久彬
文献传递
一种用于光刻机的隔振装置
本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处...
赵鹏越赵博吴剑威李昌其潘健生张银谭久彬
一种高加速往复运动恒重力补偿装置
本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置；该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上，低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接；该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿，具有运动顺畅、结构紧凑、...
吴剑威张银彬德尔温众普谭久彬
文献传递
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