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张锦

作品数：135 被引量：216H指数：8
供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金西安工业大学校长基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 71篇期刊文章
  • 51篇专利
  • 11篇会议论文
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 57篇电子电信
  • 25篇机械工程
  • 23篇理学
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 72篇光刻
  • 37篇掩模
  • 26篇激光
  • 23篇光学
  • 20篇干涉光刻
  • 19篇光刻系统
  • 18篇相移掩模
  • 17篇光刻技术
  • 15篇全息
  • 15篇激光干涉
  • 13篇衍射
  • 12篇光栅
  • 11篇光束
  • 11篇光学元件
  • 10篇抗蚀剂
  • 9篇衍射光学
  • 9篇衍射光学元件
  • 9篇衰减相移掩模
  • 8篇计算机
  • 7篇激光干涉光刻

机构

  • 81篇中国科学院
  • 46篇西安工业大学
  • 19篇四川大学
  • 5篇中国科学院微...
  • 4篇四川师范学院
  • 3篇长春理工大学
  • 2篇宁波大学
  • 2篇西安应用光学...
  • 2篇东莞市星火机...
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇光电信息控制...

作者

  • 135篇张锦
  • 70篇冯伯儒
  • 46篇蒋世磊
  • 36篇孙国斌
  • 24篇侯德胜
  • 16篇刘娟
  • 16篇宗德蓉
  • 14篇陈芬
  • 12篇弥谦
  • 10篇周崇喜
  • 9篇郭永康
  • 8篇孙方
  • 7篇苏平
  • 6篇杜春雷
  • 6篇马丽娜
  • 5篇杭凌侠
  • 5篇王永茹
  • 4篇王震
  • 4篇张强
  • 4篇周礼书

传媒

  • 20篇光电工程
  • 12篇微细加工技术
  • 6篇激光与光电子...
  • 6篇光学学报
  • 5篇光子学报
  • 4篇光学仪器
  • 3篇光学与光电技...
  • 2篇Journa...
  • 2篇光电子技术与...
  • 2篇应用激光
  • 2篇人工晶体学报
  • 2篇第十二届全国...
  • 2篇第十一届全国...
  • 2篇全国光电技术...
  • 1篇四川大学学报...
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇激光杂志
  • 1篇液晶与显示
  • 1篇应用光学
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 5篇2024
  • 7篇2023
  • 5篇2022
  • 2篇2021
  • 6篇2020
  • 4篇2019
  • 4篇2018
  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 7篇2009
  • 11篇2006
  • 7篇2005
  • 7篇2004
  • 5篇2003
  • 5篇2002
共 135 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种直线微动刀架
本实用新型涉及一种直线微动刀架,包括基座和安装在基座上的三维刀架体，三维刀架体包括水平旋转机构、纵向摆动机构和纵向移动机构；水平旋转机构包括旋转体和角度调节机构，旋转体通过光孔设置在基座上，角度调节机构与旋转体相连可控制...
阳志强郭忠达李宏李世杰张锦弥谦刘欢张宏普
文献传递
一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法
本发明涉及光学测量技术领域，具体涉及一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法。本发明装置包括激光光源，激光光路上依次设置有光纤环行器和光纤准直器，光纤准直器与全反射镜之间设置有移动导轨，移动导轨上设置有被测光楔，所述光纤环...
孙国斌郑刚周璇范亚婷蒋世磊张锦
采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术被引量：3
2005年
光学光刻技术在微细加工和集成电路(IC)制造中一直是主流技术。随着IC集成度的提高,要求越来越高的光刻分辨力,但光学光刻的分辨极限受光刻物镜数值孔径(NA)和曝光波长(λ)的限制。激光干涉光刻技术具有高分辨、大视场、无畸变、长焦深等特点,其分辨极限为λ/4,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等领域有广阔的应用前景。阐述了激光干涉光刻技术的基本原理。提出了一种采用梯形棱镜作为波前分割元件的激光干涉光刻方法。建立了相应的曝光系统,该系统可用于双光束、三光束、四光束和五光束等多光束和多曝光干涉光刻。给出了具有点尺寸约220nm的周期图形阵列的实验结果。
冯伯儒张锦刘娟
关键词：激光干涉光刻光刻技术微细加工
一种具备高可见光活性的负载型TiO2光催化材料及其制备方法
一种具备高可见光活性的负载型TiO<Sub>2</Sub>光催化材料及其制备方法，其特点是使用TiO<Sub>2</Sub>溶胶制备过程产生的有机物作为碳源，经过一定的热处理过程即可获得。本发明原料来源广泛，操作简单，成...
淡宜杨海刚江龙张锦宋远卿曹绍强张见玲徐守斌
文献传递
用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法
2005年
将涂有光致抗蚀剂的硅片或其它光敏材料置于由多束相干光以某种方式组合构成的干涉场中,可以在大视场和深曝光场内形成孔、点或锥阵周期图形,光学系统简单廉价,不需掩模和高精度大NA光刻物镜,采用现行抗蚀剂工艺。文中介绍的双光束双曝光法得到的阵列图形周期d的极限为dm i n=λ/2,四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍,三光束单曝光得到2/3 d周期的图形,并且图形不受基片在曝光场中位置的影响,适合大面积尺寸器件中周期图形的制作,而三光束双曝光和五光束曝光的结果是周期为2d的阵列图形,并且沿光轴方向光场随空间位置也作周期变化,适合在大纵深尺寸范围内调制物体结构。
张锦冯伯儒郭永康刘娟
关键词：激光干涉光刻无掩模光刻技术
一种新型吡咯并吡咯二酮-咔唑共聚物的光吸收拓宽特性研究
宽光谱吸收材料作为光催化材料的一个关键组分,对提高太阳光能向化学能、电能转化的效率起着重要的作用。本课题旨在研究含叔丁氧羰基保护官能团的不同分子量的吡咯并吡咯二酮-咔唑共聚物的光谱拓宽效应。研究发现,在氯苯溶液中,随着温...
杨龙余育晏李佳荣张锦江龙淡宜
关键词：咔唑温度
文献传递
等离激元增强金属-硅组合微结构近红外吸收被引量：13
2020年
亚波长光栅结构的光学表面具有减反特性,这种特性在光电转换效率的应用方面具有重要意义。为了提高硅基光栅结构在近红外波段(0.78~2.50μm)的吸收率,采用在硅表面光栅空隙处加入金属Ag纳米颗粒和Al2O3介质层的方法,利用FDTD软件仿真研究不同的组合结构及颗粒的直径对光吸收率的影响,分析不同的工作波长下组合结构中特征截面的光强分布。实验结果表明,当光栅线/间比为1∶1、周期为1μm、周期凹槽内放置两层直径为0.25μm的金属Ag颗粒、且凹槽内金属颗粒上方填充覆盖Al2O3介质层时,该组合微结构在近红外波段范围内的平均吸收率理论上可达到0.463,实现吸收增强的效果。在光电转换器件的应用方面,金属颗粒-硅光栅-介质层组合微结构可以增强光吸收,进而提高光电转换效率。
杨柳蒋世磊孙国斌杨鹏飞季雪淞张锦
关键词：表面光学近红外吸收表面等离激元
衰减相移掩模光刻技术研究被引量：2
1999年
论述了衰减相移掩模光刻技术的原理和曝光实验研究，给出了光刻曝光实验部分结果。
冯伯儒张锦侯德胜周崇喜陈芬
关键词：衰减相移掩模
新型5×5分束相位型达曼光栅的设计被引量：2
2022年
基于夫琅禾费远场衍射理论和达曼(Dammann)光栅设计原理,利用液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性设计了产生5×5点阵结构光的相位型光栅。以显示二维Dammann光栅为例,采用模拟退火算法根据预期的光能利用率和光强不均匀性对光栅一个周期内的相位分布值进行优化,设计了5×5点阵Dammann光栅分束结构。然后利用Matlab进行远场衍射仿真,光能利用率可达到79.94%,光强不均匀性可达到13.28%。将光栅结构加载到LCSLM上,得到了光强不均匀性为27.53%、零级衍射光强均匀分布的5×5点阵,且光能利用率达到71.06%。数值模拟及光学实验结果证明了LCSLM可以在结构光再现光学系统中清晰地再现点阵结构光。与传统的结构光相比,设计的结构光在衍射距离发生变化的时候,其点与点之间的间距不发生改变。
朱妍张锦蒋世磊孙国斌胡驰
关键词：液晶空间光调制器
全息波导耦合元件对称结构的研究被引量：3
2020年
全息波导耦合元件是增强现实显示系统的关键光学元件,光束垂直入射至全息波导板中通过入耦合元件改变光束传播方向,在波导板中形成波导现象传输至出耦合元件处,通过出耦合元件再次改变传输方向从全息波导板出射至人眼。当入耦合元件与出耦合元件均为透射式或反射式耦合元件时,两次改变光束传播方向的角度值相等。根据全息波导的成像原理,结合k矢量圆理论与全息光学记录原理,设计了全息波导入耦合元件与全息波导出耦合元件的对称型周期结构。利用MATLAB软件模拟了全息波导耦合元件记录时的干涉光强模型,实验结果与所设计的耦合元件周期结构数据吻合;利用COMSOL软件模拟了全息波导耦合元件对光束传输角度的改变过程,实验结果与理论改变光束传播方向的角度值一致。实验证明了两个全息波导耦合元件以互为对称的结构排布在全息波导光学系统中,能够满足全息波导光学系统对光束传播方向的要求。
王玉瑾张锦蒋世磊孙国斌季雪淞
关键词：光学器件全息光栅体全息光栅平板波导
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