敖天宏
- 作品数:34 被引量:39H指数:4
- 供职机构:电子科技大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术电子电信理学交通运输工程更多>>
- 一种双层微测辐射热计及其制作方法
- 本发明公开了一种双层微测辐射热计,包括微桥结构,该微桥结构由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成,所述上桥面设有一层或多层光吸收材料,下桥面包含支撑与绝缘层、金属电极、热敏电阻薄膜、钝化及调控层,下桥面与衬底之间形成下层光...
- 许向东杨卓蒋亚东黄龙樊泰君敖天宏何琼马春前陈超
- 一种多层超材料单元结构的性能调控方法
- 本发明公开了一种多层超材料单元结构及其制备与调控方法,其由上至下依次为表层金属、上层介质、中间层金属、下层介质、底层金属。表层及中间层金属由尺寸不同的金属环所组成,且这两层金属环之间同时存在重叠区域与未重叠区域,结构的底...
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- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的结构及特性研究被引量:10
- 2013年
- 利用溶胶-凝胶法制备了氧化钒薄膜,在大气环境及400℃下、对产物进行不同时间的退火处理。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性等进行了系统的分析。结果表明,退火时间明显地影响溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的化学结构及光电性能:退火时间过短,薄膜中有机成分不能完全分解、并且结晶度低;退火1h时,薄膜主要成分为V2O5和VO2,此时薄膜电阻低、但光吸收性弱;退火2h以上,薄膜中的主要成分为V2O5,此时薄膜电阻变大、但光吸收性有所加强。研究了退火时间对溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜的化学结构及光电特性的影响,揭示了相关的微观机理。
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- 关键词:氧化钒薄膜溶胶-凝胶退火
- 基于超材料吸收器的太赫兹微测辐射热计及其制备方法
- 本发明公开了一种基于超材料的太赫兹微测辐射热计及其制备方法,由超材料太赫兹吸收器和热探测器两部分组成。其中,热探测器包含微桥支撑层、热敏电阻薄膜、金属电极和钝化层四层材料。超材料太赫兹吸收器包含底层金属膜、中间介质层、顶...
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- 文献传递
- 一种氧化钒复合薄膜及其制备方法
- 本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法,其特征在于,该薄膜为氧化钒-富勒烯复合薄膜,即由二维的氧化钒与零维的富勒烯相复合而成。这种氧化钒-富勒烯复合薄膜能结合氧化钒、富勒烯两种成分的优点,克服单纯氧化钒薄膜在制备方法...
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- 一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法
- 本发明公开了一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法,滤波器由下至上依次包括一层或多层的非晶介质薄膜和一层或多层的金属薄膜,其中,所述的非晶介质薄膜被刻蚀成方型或圆型当中的一种的周期性图形结构;所述的金属薄膜直接附在...
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- 文献传递
- DAST-石墨烯复合膜及其制备方法
- 本发明公开了DAST-石墨烯复合膜及其制备方法,其中,DAST化学名称为4-(4-二甲基氨基苯乙烯基)甲基吡啶对甲基苯磺酸盐。该复合膜由两维的DAST与两维的石墨烯组成,其制备方法是:通过DAST与石墨烯原位复合或者非原...
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- 文献传递
- 一种太赫兹或红外微测辐射热计及其制作方法
- 本发明公开了一种太赫兹或红外微测辐射热计,包括用于非制冷太赫兹探测器或非制冷红外探测器的微测辐射热计的微桥结构,该微桥结构中的热敏电阻材料和光吸收材料为氧化钒-富勒烯两元复合薄膜、或者是氧化钒-富勒烯-碳纳米管三元复合薄...
- 许向东杨卓蒋亚东何琼敖天宏樊泰君黄龙温粤江
- DAST-石墨烯复合膜及其制备方法
- 本发明公开了DAST-石墨烯复合膜及其制备方法,其中,DAST化学名称为4-(4-二甲基氨基苯乙烯基)甲基吡啶对甲基苯磺酸盐。该复合膜由两维的DAST与两维的石墨烯组成,其制备方法是:通过DAST与石墨烯原位复合或者非原...
- 许向东孙自强蒋亚东范凯温粤江黄锐邹蕊矫王蒙姚洁敖天宏何琼
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- 非制冷红外焦平面微桥形变的主要原因及其控制被引量:1
- 2012年
- 微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分,经微细加工工艺制成的微桥结构常常发生弯曲变形,从而严重影响器件性能。利用有限元分析方法研究了造成微桥变形的原因。结果表明,重力导致的微桥形变值仅为1.44×10-5μm,而薄膜的本征应力导致的形变值却高达2.108μm,与实际观测值相当。因此,本征应力是造成微桥变形的主要原因。此外,还研究了本征应力梯度导致的形变,并提出了采用在电极的表面再沉积一层SiNx薄膜的方法,使桥腿的形变值由0.587μm明显地减小到0.271μm,有效地控制了本征应力梯度导致的桥腿变形。
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- 关键词:形变有限元分析