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李军俊

作品数：3 被引量：13H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇速度传感器
  • 3篇微加速度传感...
  • 3篇加速度
  • 3篇加速度传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇压阻
  • 2篇压阻效应
  • 2篇谐振梁
  • 2篇硅
  • 1篇体硅
  • 1篇体硅工艺
  • 1篇硅工艺

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇李军俊
  • 2篇杨景铭
  • 2篇刘理天

传媒

  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇第六届全国敏...

年份

  • 3篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种谐振式微加速度传感器的设计与制作
报道了一种新型体硅结构谐振式微加速度传感器的设计与制作。该器件采和电阻热激振、压阻电桥同步检测的方法来获得信号输出，其敏感结构为高度对称的四角支撑形式，并在质量块四边与支撑框架之间制作了四根谐振梁用于信号检测。该加速度传...
李军俊刘理天杨景铭
关键词：微加速度传感器
新型硅微加速度传感器的设计与制作被引量：13
1999年
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器，对其结构和工艺进行设计，并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁，并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输出。设计方案利用了压阻传感技术和体硅微加工技术，又拥有谐振原理所带来的高分辨率，高稳定性和易于与信号处理电路结合的优点，以较低的成本获得了很高的器件性能。其结构尺寸从３ｍｍ×４ｍｍ到６ｍｍ×６ｍｍ不等。
李军俊刘理天杨景铭
关键词：微加速度传感器谐振梁压阻效应
新型硅微加速度传感器的设计与制作
微加速度传感器作为一种惯性测量的基本器件,广泛的应用于汽车、自动控制、航空航天等多个领域,对它的研究由于微机械加工技术的发展与成熟而得到了科技界与产业界的共同重视,应用方面也取得了较大进展.提高传感器性能的途径主要有两个...
李军俊
关键词：微加速度传感器体硅工艺压阻效应谐振梁
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