李孟委
- 作品数：499 被引量：186H指数：8
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金武器装备预研基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 应用于MEMS封装的TSV热可靠性分析被引量：3
- 2021年
- 针对MEMS系统中硅通孔(TSV)的热可靠性,利用快速热处理技术(RTP)进行了温度影响的实验分析。通过有限元分析(FEA)方法得到不同温度热处理后TSV结构的变化趋势,利用RTP对实验样品进行了不同温度的热处理实验,使用扫描电子显微镜和光学轮廓仪表征了样品发生的变化。结果表明,热处理后TSV中Cu柱的凸起程度与表面粗糙度均随热处理温度的升高而增加,多次重复热处理与单次热处理的结果基本相同。该项研究为TSV应用于极端环境下MEMS小型化封装提供了一种解决方案。
- 李明浩王俊强闫欣雨李孟委
- 关键词：有限元分析
- 隧道磁阻微陀螺结构设计与加工被引量：1
- 2019年
- 微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测,而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限.本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构,利用隧道磁阻效应的高灵敏特性来实现微弱柯氏力的高灵敏检测.阐述了隧道磁阻微陀螺的工作原理,分析了微陀螺的动力学方程,完成了微陀螺结构设计、工艺加工及测试.测试结果表明:微陀螺驱动方向和检测方向谐振频率分别为6 853Hz和6 854Hz,与理论仿真基本一致;微陀螺驱动方向Q值为571.1,检测方向Q值为527.3,结构灵敏度为15.3nm/°/s.
- 丁希聪李孟委李孟委
- 关键词：微陀螺谐振频率
- 一种高质量石墨烯/氮化硼异质结制备工艺研究
- 2019年
- 针对目前石墨烯器件的纳米薄膜由于转移工艺导致质量及一致性差的现状,本文基于常规的RCA清洗工艺对纳米薄膜湿法转移工艺进行了改进,完成了高质量石墨烯/氮化硼(BN)异质结的制备.本工艺在原有转移工艺中加入了清洗工艺,利用稀盐酸溶液和稀氨水分别去除薄膜转移过程中产生的重金属污染物和有机污染物,并通过稀HF溶液对衬底表面进行了预处理,提高纳米薄膜的平整度、减少褶皱,进一步提高石墨烯/BN异质结的质量.通过对常规工艺及改进转移工艺制备的异质结SEM扫描结果、电学性能及拉曼光谱的对比,改进后的转移工艺制备完成的异质结褶皱与污染物明显减少,电阻增大,2D/G峰强度比提升至3.23,异质结的质量有明显提高.
- 赵世亮李仰军李仰军李孟委
- 关键词：石墨烯氮化硼异质结
- 一种具有光学自细分功能的二维点阵光栅面内位移传感器
- 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种具有光学自细分功能的二维点阵光栅面内位移传感器，包括激光器、准直扩束器、上层光栅、下层四象限阵列光栅、四象限探测器、细分电路模块，所述激光器的光路方向上设置有准直扩束器，所述准直...
- 辛晨光马霄琛李孟委
- 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置
- 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁...
- 李孟委张瑞丁希聪秦世洋
- 文献传递
- 一种快响应高温薄膜热电偶
- 本发明属于温度测量热电偶领域，具体涉及一种高响应耐高温薄膜热电偶，所述封装管帽固定在封装管座上，所述封装管帽为中空结构且顶部多孔，所述封装管帽的内部设置有衬底，所述衬底固定在封装管座上，所述衬底上设置有下层保护层，所述上...
- 王俊强吕晓霖李孟委
- 一种具有内部限位环的硅通孔互连结构及其形成方法
- 一种具有内部限位环的硅通孔互连结构及其形成方法，所述硅通孔互连结构包括：衬底，所述衬底上开设有至少一个通孔；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述衬底的上端面和下端面上；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述通孔的内壁上；种...
- 王俊强李孟委李明浩
- 文献传递
- 一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统
- 本发明涉及自动化和仪器仪表技术领域，特别涉及一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统，所述系统包括基础平台、用于测量基础平台姿态信息的惯性组件、接收惯性组件所发送的姿态信息并进行解算的电机控制电路、根据电机控制电路解算的...
- 李孟委张一飞
- 一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统
- 本实用新型涉及自动化和仪器仪表技术领域，特别涉及一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统，所述系统包括基础平台、用于测量基础平台姿态信息的惯性组件、接收惯性组件所发送的姿态信息并进行解算的电机控制电路、根据电机控制电路解...
- 李孟委张一飞
- 一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器
- 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳光纤法布里珀罗双腔结构的多功能传感器，包括光源、微纳光纤、测量室、参考室、光电探测器，所述光源通过微纳光纤依次连接有测量室、参考室、光电探测器，所述微纳光纤上分别设置有测量腔...
- 辛晨光李孟委金丽张瑞
- 文献传递
