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李锋: 作品数：28 被引量：24H指数：2; 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

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微电容式Lamb波器件及其制作: 针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CIDT:Capacitive Interdigital Transducers)的小型化微电容式Lamb...; 胡友旺贾宏光李锋张平王淑荣吴一辉; 关键词：MEMS; 文献传递

一种对声子晶体谐振器进行振动模式选择的方法: 本发明提出了一种对声子晶体谐振器进行振动模式选择的方法，步骤包括：在有限元软件中进行带有压电材料的模态分析，上下电极以短路边界条件代替，得到目标模式的表面电荷分布；分别统计表面正负电荷的积分，取绝对值较大者为电极布置区域...; 吴一辉李鹏刘永顺李锋舒风风; 文献传递

微摩擦测试仪力传感器的研究被引量：14: 2002年; 讨论了微尺度构件的摩擦力测试问题。Bhushan和Koinkar分别对硅材料的宏观摩擦系数和纳米摩擦系数进行了对比实验 ,实验表明纳米摩擦系数远远低于宏观摩擦系数。而在微机械构件中 ,零件的大小一般为微米级 ,甚至更大 ,接触面积也较大。载荷介于宏观和微观之间 ,有时会大于nN范围 ,因此其摩擦特殊 ,有可能不完全等同于宏观摩擦和纳米摩擦 ,因此需进一步研究。但现有的微摩擦测试仪器不管是载荷还是测量范围都是基于纳米量级 ,因此需要一种用于研究微机械样品间摩擦的专用仪器。本文主要对这种微摩擦测试仪中关键技术之一力传感器进行了研究。由于普通传感器在测量精度较高时 ,分辨率、灵敏度等均较低 ,不能满足系统的要求。针对普通传感器的不足 ,本文采用微机械工艺加工微力传感器的办法。这是由于微机械工艺采用的技术多是半导体工业的硅表面工艺和体硅加工工艺 ,因此这种传感器可以大批量制造 ,且具有低成本、高精度、低驱动、高可靠性、低功耗、占用空间小、重量轻和响应速度快等优点。; 黎海文贾宏光吴一辉李锋; 关键词：力传感器 MEMS

微生化芯片内光探测的研究: 针对微生化芯片样品量少、需要与微流体芯片集成等要求,设计了两种在芯片内用分光光度法,对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法.光探测部分是微型生化分析芯片的重要组成部分.原理性实验利用460～800 nm的可见光光源,采用了...; 李锋吴一辉鞠挥贺敏英; 关键词：分光光度法; 文献传递

表面等离子体共振与柔性平板波联合探测生物传感器: 本发明涉及一种适用于临床检验、药物筛选、环境、食品检验等领域生物亲和性反应特性检测的表面等离子体共振与柔性平板波联合探测生物传感器，它是由光学传感部件和声波传感部件组合而成，在光学传感部件和声波传感部件之间有一可承载被检...; 吴一辉李锋郝鹏黎海文张平; 文献传递

微生化芯片上的光探测器: 本发明属于微机械与集成光学领域，涉及微生化芯片上的光探测器。第一种探测器包括：光源1、光纤2、光纤芯3、样品池4、支撑架5。第二种探测器包括：端盖6、支撑结构7、探测器透镜一8、光源9、混合沟道10、样品池11、透镜二1...; 吴一辉李锋张平王淑荣; 文献传递

用于微型生化分析的光探测系统被引量：3: 2005年; 针对微生化芯片样品剂量少和与微流体芯片集成等要求,设计了两种在芯片内用分光光度法对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法。实验利用5 10～84 0nm的可见光光源,采用了直接探测法和消逝波探测法对样品进行探测。通过两种方法的比较证明:直接探测法具有原理简单、消耗样品量少和结构容易实现等优点;消逝波探测法具有需要样品量极少、灵敏度高和易于集成的优点。; 李锋吴一辉赵华兵鞠挥; 关键词：分光光度法芯片集成吸收光谱微流体可见光

微生化芯片上的透镜式探测器: 本发明属于微机械与集成光学领域，涉及微生化芯片上的光探测器。探测器包括：端盖6、支撑结构7、探测器透镜一8、光源9、混合沟道10、样品池11、透镜二12。本发明透镜式探测器，因为透镜较小，准直光束的直径也较小，这样光束穿...; 吴一辉李锋张平王淑荣; 文献传递

微电容式Lamb波器件及其制作: 针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CIDT:Capacitive Interdigital Transducers)的小型化微电容式Lamb...; 胡友旺贾宏光李锋张平王淑荣吴一辉; 关键词：叉指换能器频率响应响应特性; 文献传递