林伟民
- 作品数：3 被引量：8H指数：2
- 供职机构：日本理化学研究所更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 结合ELID磨削与磁流变光整加工的单晶硅反射镜超精密制造技术被引量：5
- 2007年
- 分析了在线电解修整(ELID)磨削和磁流变光整加工(MRF)的加工原理与特点,充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工.首先进行ELID高效率磨削,在线检测工件表面误差后进行补偿磨削,使反射镜面加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量.然后,利用磁流变技术进行确定性的光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,使加工表面的形状精度与表面粗糙度得到很大提高与改善.利用该组合工艺,对硅反射镜进行了系列的加工实验,高效率地得到了低于1 nm RMS的表面粗糙度和69 nmP-V形状精度的工件表面.
- 尹韶辉陈逢军张导成大森整林伟民上原嘉宏
- 关键词：在线电解修整表面粗糙度
- 应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工被引量：3
- 2007年
- 利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,提高表面质量,并通过修正加工,显著提高了工件表面的形状精度。对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验,高效率地得到Rq=2.4nm(均方根偏差)的表面粗糙度和21.2nm的形状精度,并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较。
- 尹韶辉陈逢军盛晓敏大森整林伟民上原嘉宏
- 关键词：超精密加工表面粗糙度
- 金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究
- 2008年
- 1研究背景
金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势。在金刚石涂层刀具制备中，刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量，进而影响刀具的切削性能。目前大量研究主要集中在衬底表面的预处理、碳源浓度、反应压力、偏压、衬底的温度控制等方面，而对于衬底与热丝之间的距离研究鲜有报道。
- 陈明林伟民大森整
- 关键词：金刚石涂层刀具热丝颗粒增强复合材料CVD装置难加工材料
