梁庭
- 作品数：260 被引量：362H指数：9
- 供职机构：中北大学更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 便携式光离子化检测器研究
- 本文分析了PID(Photo Ionization Detector)原理并基于该原理设计了PID敏感单元以及气体检测器的整体。突破传统的光离子化检测器的制造方法，使得电离室的设计与加工大大简便，从而使检测器的体积和质量...
- 范秋生薛晨阳梁庭李珺泓孙瑞霞张文栋
- 关键词：光离子化检测器电离室气体检测器低功耗
- 文献传递
- 无源压力传感器Q值对信号传输性能的影响(英文)被引量：1
- 2012年
- 为了解决无源压力传感器的无线信号传输性能问题,采用环氧树脂基底制作无源压力传感器模拟结构.传感器无线测试装置由共振电容空腔和感应天线组成,内部无需有源器件、电池等.通过改变压力敏感结构电感天线的金属层厚度和线宽等因素来研究无线信号传输性能.经过实验测试,电感的品质因素Q影响传感器的信号传输.可以通过对金属层加厚,对线宽加宽,达到减小电感的电阻,从而增大传感器电感的Q值,即有利于无线信号的传输.
- 熊继军杨芳梁庭牛坤旺李叶王凯崔天宏
- 关键词：Q值天线
- 光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法
- 本发明为一种光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器主要由外壳、光纤、加速度敏感元件、基座等构成，采用MEMS技术加工传感器的外壳、加速度敏感元件和基座，通过MEMS键合技术实现基座、加速度敏感元件和外壳...
- 贾平岗熊继军梁庭洪应平曹群房国成薛晨阳刘俊张文栋
- 文献传递
- 硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器被引量：1
- 2021年
- 为了解决传统的铂电阻、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题,选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料,利用mems工艺制备了叉指电极热敏电阻,通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来,制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器,对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜(SEM)表征,并搭建了测试系统对性能进行了测试。结果表明,从30℃~210℃范围内,传感器的电阻随温度的上升而下降,传感器的灵敏度约为85.97719Ω/℃,线性度高达0.98049,同时具有极小的迟滞性和良好的稳定性。
- 张君娜梁庭雷程赵珠杰齐蕾
- 关键词：叉指电极温度传感器
- 铌酸锂晶片热释电红外探测器设计及性能测试被引量：4
- 2013年
- 通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元。选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换;根据红外光谱吸收原理,在敏感单元前封装了窄带滤光片从而提高了敏感单元选择吸收的性能。将敏感单元、前置放大电路和窄带滤波片三部分封装在一个壳体内,红外探测器制作成功。设计了信号调理电路,对从探测器得到的热释电信号进行二次放大和滤波;搭建了探测器响应测试系统,对探测器的性能进行测试,测试验证了该探测器设计的合理性。
- 刘岗梁庭林斯佳李颖刘俊
- 关键词：热释电探测器红外吸收电路设计
- 恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置
- 本发明公开了一种恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置，该装置包括处在恶劣环境下的物理参量敏感单元，同时处在恶劣环境与普通环境中信号传输单元，处在普通环境中的信号读取单元，所述物理参量单元通过信号传输单元与信号读取单元连接...
- 陈晓勇熊继军梁庭贾平岗洪应平谭秋林董和磊魏坦勇武国柱房国成
- 文献传递
- ICP深硅刻蚀工艺掩模的研究被引量：7
- 2015年
- 通过使用深硅等离子刻蚀机,以C4F8和SF6为刻蚀气体,对以光刻胶与金属铝两种材料作为掩模的深硅刻蚀结果进行对比,研究了深硅刻蚀过程中掩模材料对刻蚀结果的影响。实验结果表明:以光刻胶做掩模,深硅刻蚀后硅侧壁和硅底部表面形貌平整,垂直度较之铝掩模相当;以金属铝做掩模,深硅刻蚀后深槽底部表面不平整,出现长草现象,但是刻蚀选择比大于光刻胶,两种掩模的硅刻蚀速率相当。
- 李丹丹梁庭李赛男姚宗熊继军
- 关键词：感应耦合等离子体掩模光刻胶表面形貌
- 便携式光离子化有害气体检测仪的设计被引量：9
- 2011年
- 针对室内空气污染源的多样性与传统气体检测器检测种类的单一性的矛盾,设计了一种能够同时检测多种气体的新型便携式光离子化气体检测仪。该检测仪采用了MEMS结构的离子化室和混合信号级微处理器C8051F040,减小了仪器体积,降低了仪器功耗。利用单片机控制电流跨导增益的方法,实现了仪器的双量程数据采集功能,保证了仪器在两个量程的测量时均具有较好的检测精度。该仪器适用范围广,自动化程度高,实际应用效果良好。
- 殷亚飞梁庭牛坤旺薛晨阳张文栋刘俊
- 关键词：光离子化有害气体检测仪数据采集电离室
- 压力测试中引压管的动态特性研究被引量：12
- 2011年
- 采用激波管实验装置对不同长度、不同直径的引压管进行了实验.利用MATLAB编写了快速傅里叶变换(Fast Fourier Transform,FFT)算法,通过FFT算法计算了实验结果的频率特性,分析了长度、直径对引压管动态特性的影响.结果表明:随着直径的增加,引压管的工作频带变宽;长度是最主要的影响因素,直接决定引压管的工作频带,长度越短其工作频带越宽.
- 叶挺梁庭张文栋
- 关键词：压力测试动态特性激波管
- Gardon型热流传感器隔热技术的优化被引量：5
- 2010年
- 在无法向外散热的情况下,采用Gardon型热流传感器测量火焰强度的热流密度时,传感器对于热量的处理只能选择用储热体来吸收,故该类型的传感器有了工作时间的限制。为增加Gardon型热流传感器的工作时间,对其隔热技术加以改进,效果较为明显。
- 王超梁庭任勇峰
- 关键词：热流绝热性能
