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汪殿民

作品数：3 被引量：8H指数：1
供职机构：华中科技大学光电子科学与工程学院光电子工程系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇柔性传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇旋涂
  • 1篇人体皮肤
  • 1篇皮肤
  • 1篇微机电系统
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机电系统
  • 1篇剪切应力
  • 1篇光学
  • 1篇光学传感器
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇MOEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 3篇华中科技大学

作者

  • 3篇易新建
  • 3篇汪殿民
  • 3篇陈四海
  • 2篇朱福龙
  • 1篇向思桦
  • 1篇徐涌
  • 1篇赖建军
  • 1篇付小朝
  • 1篇王志勇
  • 1篇潘峰
  • 1篇潘峰
  • 1篇柯才军
  • 1篇马宏
  • 1篇徐涌

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇半导体光电

年份

  • 3篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：7
2005年
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
陈四海汪殿民朱福龙徐涌易新建
关键词：微机电系统
一种柔性传感器的制作方法
本发明公开了一种柔性传感器的制作方法，步骤为：制作刚性传感器；在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10－15μm厚的聚酰亚胺，再甩20－30μm厚的光刻胶；晶片后表面被深刻蚀减至60－80μm厚，形成硅岛；在后表面沉积一层...
陈四海马宏汪殿民王志勇朱福龙潘峰徐涌易新建
文献传递
基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器被引量：1
2005年
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性，又具有一定的强度，而且与传统的硅工艺相兼容。
陈四海潘峰付小朝柯才军汪殿民向思桦赖建军易新建
关键词：柔性传感器
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