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汪超
汪超
作品数:
11
被引量:3
H指数:1
供职机构:
华中科技大学
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理学
机械工程
文学
医药卫生
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合作作者
陈海清
华中科技大学光电子科学与工程学...
余洪斌
华中科技大学光电子科学与工程学...
竺子民
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汪超
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竺子民
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一种硅基可变形反射镜及其制作方法
本发明公开了一种硅基可变形反射镜及其制作方法。该可变形反射镜包括硅片和玻璃片,硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成,硅膜的上表面为反射面,在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极,玻璃...
余洪斌
陈海清
竺子民
汪超
文献传递
基于MEMS技术的新型变形反射镜
被引量:1
2005年
基于MEMS技术体硅工艺,提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的设计制造方法。依工艺流程中的实际情况与结果,分析了在制造过程中遇到的大面积腔体深腐蚀中凸角腐蚀和键合中小空隙粘合等关键问题,设计实施了T形补偿角、延长驱动线等解决方案。用此方法制造出有效反射面积30mm×30mm,最大变形量1.2μm,49驱动电极的新型变形反射镜。10-200V电压范围内得到的该变形反射镜镜面变形数据与模拟结果具有很好的一致性。
汪超
余洪斌
陈海清
关键词:
微电子机械系统
体硅工艺
凸角补偿
外汇衍生品对公司价值的影响——基于沪深300成分公司的实证分析
经过近四十年的改革开放,特别是2001年中国加入WTO后,我国企业的科技创新能力逐步提升,在国际市场的竞争力日渐加强,我国企业进出口额增长迅猛。自2005年7月21日我国汇率制度改革以来,人民币汇率波动更为频繁幅度也更大...
汪超
关键词:
外汇衍生品
风险管理
信息披露
文献传递
CUDA架构下激光间接驱动辐射对称性高效并行分析算法研究
激光间接驱动惯性约束聚变(ICF)是实现受控热核聚变的重要方法之一,已成为各个国家的重点研究领域。数值模拟惯性约束聚变的实验过程,可以提高实验效率。间接驱动辐射对称性是判断实验过程中内爆点火是否成功的一个关键指标。为满足...
汪超
关键词:
核聚变
惯性约束聚变
对称性分析
数值模拟
文献传递
视频图像编码中的运动补偿方法研究
汪超
关键词:
视频编码
自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造
文章介绍了一种大有效反射面积的连续表面变形镜的设计制造方法。首先从理论上给出了变形镜的物理模型及仿真结果,分析了此方案的特点,着重从解决 MEMS 工艺制造大表面积器件上给出了新的思路。并给出了实验制造的产品,分析了在大...
汪超
陈海青
余洪斌
关键词:
自适应光学系统
变形镜
静电驱动
体硅工艺
凸角补偿
文献传递
一种硅基可变形反射镜
本实用新型公开了一种硅基可变形反射镜。该可变形反射镜包括硅片和玻璃片,硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成,硅膜的上表面为反射面,在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极,玻璃片和硅片...
余洪斌
陈海清
竺子民
汪超
文献传递
一种硅基可变形反射镜及其制作方法
本发明公开了一种硅基可变形反射镜及其制作方法。该可变形反射镜包括硅片和玻璃片,硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成,硅膜的上表面为反射面,在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极,玻璃...
余洪斌
陈海清
竺子民
汪超
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唐宋怀古词研究
世事的沧桑、风雨的剥蚀,留下古冢荒垒、旧迹残存,使后人登临凭吊时抚今追昔,思古情生。历代文人骚客,穿越千古时空的界限,把人世沧桑、兴衰成败之感都聚集于此,谱成或悲凉慷慨、或缠绵凄清的怀古词篇。 本文按照时代发展...
汪超
关键词:
唐宋时期
怀古词
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MEMS-DMs设计与工艺技术研究
本论文设计的项目主要从校正光线穿过大气、光学设备时产生的波前畸变出发,分析自适应光学校正方法,提出自适应光学波前校正系统中的核心执行器件DMs的设计结构和制造方法。 随着小型化趋势的发展,和空间光学器件对体积、...
汪超
关键词:
体硅工艺
凸角补偿
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