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一种基于抗磁体悬浮的惯性传感器: 本发明公开一种基于抗磁体悬浮的惯性传感器，包括：抗磁体悬浮结构，包括：固定永磁体、悬浮永磁体、悬浮永磁体保护结构以及抗磁材料；固定永磁体固定于悬浮永磁体的正上方，用于为悬浮永磁体提供悬浮力，以克服悬浮永磁体的重力，使得悬...; 刘骅锋王秋罗鹏顺涂良成; 文献传递

一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统: 本实用新型公开了一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统，三分量重力仪探头包括结构相同的X轴重力测量模块、Y轴重力测量模块和Z轴重力测量模块；各单轴重力测量模块包括单轴重力加速度传感器、信号处理电路和电子元器件；各单轴重力加...; 刘骅锋涂良成王秋胡宸源范继; 文献传递

一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统: 本发明公开了一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统，三分量重力仪探头包括结构相同的X轴重力测量模块、Y轴重力测量模块和Z轴重力测量模块；各单轴重力测量模块包括单轴重力加速度传感器、信号处理电路和电子元器件；各单轴重力加速度...; 刘骅锋涂良成王秋胡宸源范继

一种基于抗磁体悬浮的MEMS惯性传感器: 本发明公开一种基于抗磁体悬浮的MEMS惯性传感器，包括：深硅刻蚀槽内部具有封闭的空间，通过将SOI硅片中支撑层的中间区域刻蚀掉得到；悬浮永磁体位于深硅刻蚀槽的封闭空间内，固定永磁体固定于上刻蚀槽外侧的顶部，用于提供作用于...; 王秋刘骅锋胡宸源涂良成; 文献传递

一种微重力加速度测量装置: 本发明公开了一种微重力加速度测量装置，包括上舱段部分和下舱段部分，上舱段部分包括上舱段金属壳体、上舱段金属盖、数字电路板、金属隔板、模拟电路板、接插件；所述金属隔板将所述上舱段金属壳体内部空间分为上下两层，所述数字电路板...; 张少林刘骅锋涂良成王秋许强伟严世涛

一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计: 本发明公开了一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计，加速度计包括加速度敏感机构、位移传感机构和灵敏度切换执行机构；加速度敏感机构包括质量块、折叠梁和机械超材料周期性结构；折叠梁的一端和机械超材料周期...; 刘骅锋涂良成王秋胡方靖; 文献传递

面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器被引量：7: 2018年; 微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)惯性传感器具有体积小、质量小、成本低等优势,已经在消费电子、工业、医疗、军事、航空航天等领域得到广泛应用。随着精度的不断提高,近年来MEMS惯性传感器在地球物理领域已经开始崭露头角,但是其在该领域中的具体应用需求还不太明确。因此,系统地分析了地球物理领域对高精度惯性传感器的应用需求,主要包括:自然灾害监测中的地震监测、固体潮和火山活动监测。高精度惯性传感器在自然资源勘探领域中的应用主要涉及地球物理勘探方法(重、磁、电、震)中的重力和地震物探方法,以及在钻井工程监测等领域的重力辅助导航中用于局部重力场的精密测量等。针对上述的应用领域需求,总结了已经应用于和未来可用于地球物理领域的高精度MEMS惯性传感器的国内外研究现状,并得出了如下结论:高精度MEMS惯性传感器在极端环境、低成本、高密度的地球物理应用环境下具有极大的优势,并有逐渐替代现有传统地球物理仪器的趋势。; 王秋刘骅锋涂良成; 关键词：地球物理微机电系统惯性传感器地震检波器重力仪

一种微机械万向开关: 本发明公开一种微机械万向开关，包括：器件层、衬底和封帽，所述器件层上下分别为衬底和封帽；器件层包括：质量块、螺旋形弹簧梁和框架；质量块通过螺旋形弹簧梁支撑在框架上，质量块的上镀有动电极；封帽包括：径向电极分布在质量块的四...; 刘骅锋涂良成胡宸源王秋渠自强; 文献传递

基于光学位移传感的157dB大动态范围nano-g级MEMS地震检波器: 1引言面向油气勘探和监测应用的MEM S地震检波器具有体积小,成本低的优势,能够满足地震勘探的基本需求。目前电容式MEMS加速度检波器易受电磁干扰,谐振式和光学式MEMS地震检波器具有实现高精度、大动态范围的能力,但谐振...; 焦世民渠自强王秋欧阳浩刘骅锋

一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计: 本发明公开了一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计，加速度计包括加速度敏感机构、位移传感机构和灵敏度切换执行机构；加速度敏感机构包括质量块、折叠梁和机械超材料周期性结构；折叠梁的一端和机械超材料周期...; 刘骅锋涂良成王秋胡方靖; 文献传递

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王秋