程兆谷
- 作品数：125 被引量：331H指数：12
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福特-中国研究与发展基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺理学更多>>
- 输出巨脉冲激光的横流二氧化碳激光器
- 一种输出巨脉冲激光的横流二氧化碳激光器，包括有上盖、左中间体、右中间体及下支体密封构成的外壳。右中间体内置有双放电区的放电腔，∏形折叠式的光学谐振腔。有双气流通道。放电腔内充有较低气压和高比例氦气的二氧化碳混合气体。放电...
- 程兆谷李现勤
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- 加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响被引量：6
- 2007年
- 为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型。仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5nm左右,这对于纳米精度的测量是不应忽视的;初速度不为零时加速运动会引起更大的误差,而减速运动所引起的误差则相对小。通过实验验证,所测的误差变化趋势与理论模拟比较吻合。
- 张志平程兆谷覃兆宇朱健强
- 关键词：加速度多普勒频移
- 自适应控制飞行光学聚焦特性
- 2003年
- 在对高阶模飞行光学聚焦特性进行研究的基础上,提出了应用自适应飞行光学聚焦系统来解决飞行光学聚焦特性的问题,对自适应飞行光学聚焦系统的调节特性进行了数值模拟,结果表明该系统能够实现对长距离飞行光学激光加工过程中焦点位置与焦斑大小的控制。
- 赵全忠程兆谷高海军
- 关键词：自适应控制光束质量因子
- 紫外激光生物粒子计数器
- 一种紫外激光生物粒子计数器，适用于测量空气中悬浮生物粒子的直径及生物学特性。含有以紫外激光器作照明光源的紫外激光照明光路、散射光接收光路、荧光接收光路和采样气路。置于散射光接收光路上的散射光滤光片对荧光全反射，使荧光接收...
- 黄惠杰赵永凯任冰强程兆谷杜龙龙路敦武
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- 激光在高压检测设备中的应用被引量：2
- 2003年
- 描述了一种用激光光源驱动的光电式电流互感器 ,它由四部分组成 :第一部分是传感头 ,它将被测电流信号转换成频率调制信号 ;第二部分是光纤传输和光电转换器 ,从传感头输出的频率调制信号驱动装在高压端的发光二极管 ,进而转换成光脉冲信号 ;第三部分是信号处理电路 ,把调频信号还原成被测电流 ;第四部分是工作电源 ,它通过光电池提供积分电路和压频转换器的工作电压。
- 柴雄良程兆谷高海军陈邦栋董增平李锋
- 关键词：激光电力系统光纤光电式电流互感器信号处理电路
- 倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪
- 一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；...
- 程兆谷高海军覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌
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- 硅片表面球形粒子散射研究被引量：7
- 2006年
- 为求解硅片表面微小粒子在任意线偏振平面入射光照射下的散射光光强分布,选择了基于Mie散射的杨氏模型为依据,推导了该模型下散射光强空间分布的计算方法,并给出了0.54μm球形粒子在垂直、倾斜入射下光强空间分布的模拟计算结果,以及入射平面第一象限内散射光强与国外已发表实验结果的比较·
- 曹楷程兆谷高海军
- 关键词：硅片散射微分散射截面
- 光刻机定位双频激光干涉仪
- 程兆谷高海军黄惠杰宁志高
- 双频激光干涉仪以其特有的大测量范围、高分辨率和高测量精度等优点，在精密和超精密测量领域获得了广泛的应用。特别是用在光刻机工件台的定位检测上，其地位更是其它的测量工具所不能替代的。
- 关键词：
- 关键词：双频激光干涉仪光刻机
- 双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置
- 一种双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置，包括一双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一偏振分光镜，该偏振分光镜的分光面与激光器的输出光路成45°，在该偏振分光镜透射光方向是一固定角锥棱镜，反射光方向是一移动角锥棱镜...
- 程兆谷高海军
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- 横流二氧化碳激光器的电阻器
- 一种横流二氧化碳激光器的电阻器，包括带有进水管和出水管的由绝缘材料构成的箱壳。箱壳内装有流动的水。含有限流电阻的电阻组件浸没在箱壳内的流水中。限流电阻表面上敷有绝缘漆层，电阻组件的所有接线点上均涂有封装绝缘层。进水管和出...
- 程兆谷
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