胡中华
- 作品数：26 被引量：68H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法
- 一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置和检测方法，装置的构成包括可见激光器，在该可见激光器输出激光的方向同光轴地依次设有扩束镜组、分束镜、第一远场成像透镜、可调光阑或CCD图像传感器、第二远场成像透镜和第二...
- 朱菁黄惠杰曾爱军胡中华杨宝喜陈明
- 文献传递
- 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计被引量：18
- 2013年
- 投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DOE进行了具体的设计。仿真分析了采用常规重复分区方法和混合分区方法的两类设计结果,并对它们的远场光强分布进行了详细的比较分析。在相同的局部优化算法条件下,相对于常规重复分区方法的设计结果而言,混合分区方法设计的DOE可使传统照明模式的非均匀性从26.45%下降到1.12%,二极照明模式的非均匀性从19.93%下降到5.45%,四极照明模式的非均匀性从17.73%下降到3.54%。混合分区设计方法无需改变局部优化算法,在保持高衍射效率的同时能大幅度提高光瞳均匀性。
- 胡中华杨宝喜朱菁肖艳芬曾爱军黄惠杰
- 关键词：光学设计衍射光学元件投影光刻
- 光学系统定心定位装置及其使用方法
- 一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行...
- 肖艳芬杨宝喜谢承科胡中华曾爱军陈明朱菁黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法
- 一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连...
- 张方朱菁黄惠杰宋强杨宝喜陈明曾爱军黄立华胡中华肖艳芬
- 文献传递
- 衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法
- 一种用于投影光刻照明系统的衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法，该测量装置包括照明单元、能量监测单元、衍射光学元件固定支架、衍射图样测量单元和能量利用率测量单元。通过测量衍射光学元件产生的衍射图样及各级衍射光斑的能量...
- 胡中华朱菁杨宝喜肖艳芬彭雪峰陈明曾爱军黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
- 杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
- 杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
- 衍射型环形照明发生器及其制备方法
- 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍...
- 朱菁杨宝喜曾爱军黄惠杰胡中华陈明肖艳芬
- 文献传递
- 偏振横向剪切干涉仪
- 一种偏振横向剪切干涉仪，由偏振分束器、双折射晶体平板、偏振方向旋转组件、变倍镜组、图像传感器和计算机组成，其位置关系是：沿入射光束行进的方向依次为所述的偏振分束器、双折射晶体平板和偏振方向旋转组件，在所述的偏振分束器沿入...
- 李凡月王剑波胡中华曾爱军黄惠杰
- 文献传递
- 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计被引量：15
- 2013年
- 均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开的柱面微透镜阵列,并通过优化设计,克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明,所设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85%。
- 肖艳芬朱菁杨宝喜胡中华曾爱军黄惠杰
- 关键词：几何光学光学设计
