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许效红

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京科技大学冶金学院物理化学系更多>>
相关领域：冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程

主题

  • 1篇动力学模型
  • 1篇气相沉积
  • 1篇力学模型
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇钽

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇徐学珍
  • 1篇许效红
  • 1篇张长鑫

传媒

  • 1篇有色金属（冶...

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学气相沉积钽的动力学模型被引量：3
1995年
描述了化学气相沉积钽的动力学，推导出低温与高温下两种模型，实验值与理论值吻合较好。
徐学珍许效红张长鑫杜玮
关键词：化学气相沉积动力学模型钽
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