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谢舒平

作品数：7 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
相关领域：理学电子电信化学工程航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 4篇理学
  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 2篇氧化硅
  • 2篇二氧化硅
  • 1篇镀膜
  • 1篇推进剂
  • 1篇能谱
  • 1篇剖面
  • 1篇剖面研究
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇灵敏度
  • 1篇漏泄
  • 1篇敏度
  • 1篇敏感器
  • 1篇化学态
  • 1篇硅半导体
  • 1篇硅玻璃
  • 1篇俄歇电子
  • 1篇俄歇电子能谱
  • 1篇二氧化硅玻璃
  • 1篇感器

机构

  • 6篇中国科学院兰...
  • 1篇兰州大学

作者

  • 6篇谢舒平
  • 5篇范垂祯
  • 4篇杨得全
  • 2篇郭云
  • 1篇力虎林
  • 1篇王海军

传媒

  • 3篇真空与低温
  • 1篇分析测试学报
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国空间科学...

年份

  • 1篇2001
  • 4篇1997
  • 1篇1995
共 7 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
Ti／Al多层金属薄膜AES深度剖析的目标因子分析
1995年
目标因子分析法（ＴＦＡ）是一种对多元系统进行统计分析的计算数学方法。结合这种方法对Ｔｉ／Ａｌ多层金属薄膜的俄歇电子谱（ＡＥＳ）深度剖析结果进行了仔细的分析，获得了Ｔｉ、Ａｌ、Ｏ、Ｓｉ各元素的化合状态的深度分布情况，并与Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析结果相一致．
谢舒平郭云杨得全范垂祯
关键词：钛铝
一种高灵敏度无水肼气体传感器被引量：1
1997年
采用Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｔｇｅｔ（ＬＢ）技术在Ａｌ平面电极上沉积制备了一种有机络合物ＬＢ膜。测试结果说明，这种敏感膜对无水肼（Ｎ２Ｈ４）气体在室温环境下具有很高的探测灵敏度：对无水肼在空气中的探测极限优于５×１０－７，其响应时间和恢复时间均不大于１０ｓ。这种高灵敏度敏感薄膜可用于制备便携式Ｎ２Ｈ４气体监测装置。
杨得全王润福谢舒平郭云范垂祯王海军力虎林
关键词：漏泄敏感器LB膜传感器推进剂
渐进因子分析法在 Ta_2O_5/Ta 样品俄歇深度剖析研究中的应用被引量：3
1997年
首次利用渐进因子分析法研究了Ｔａ２Ｏ５／Ｔａ样品的俄歇深度剖析过程，获得了样品中Ｔａ的三种不同化学态Ｔａ、Ｔａ２Ｏ５和ＴａＯｘ，并发现Ｔａ２Ｏ５薄膜中经Ａｒ＋离子束轰击后产生的亚稳态产物ＴａＯｘ的ｘ值为１．６，含量接近４０％。Ｔａ２Ｏ５薄膜在深度剖析中未分解出游离态的Ｔａ成分。
谢舒平范垂祯
关键词：钽
应用渐进因子分析法研究SiO_2/Si样品俄歇深度剖析被引量：1
1997年
首次利用渐进因子分析法对ＳｉＯ２／Ｓｉ样品俄歇深度剖析过程进行研究，发现ＳｉＯ２／Ｓｉ界面处有ＳｉＯｘ成分存在，ｘ值在１０～１５之间，厚度约为３０ｎｍ，含量接近５０％。Ａｒ＋离子束的轰击使得ＳｉＯ２薄膜内分解产生亚稳态ＳｉＯ２，含量在１７％左右。研究结果表明，渐进因子分析法非常适合于俄歇深度剖析的化学态分析。
谢舒平范垂祯
关键词：化学态硅半导体二氧化硅
ITO透明导电薄膜XPS深度剖面分析被引量：2
2001年
介绍了镀制 SiO2的 ITO透明导电薄膜的性能特点，描述了用 X射线光电谱仪对典型产品深度剖面的分析过程，给出了实验结果。
范垂祯谢舒平杨得全
关键词：二氧化硅玻璃镀膜
渐进因子分析法及其在Au/Ni/Si薄膜俄歇深度剖面研究中的应用被引量：1
1997年
将渐进因子分析法应用于俄歇深度剖面的化学态研究。通过对Au／Ni／Si薄膜样品深度剖析过程的渐进因子分析，最终获得了各元素的化学状态和深度分布，并发现Au／Ni／Si样品中Ni／Si界面在室温下已发生反应，生成富Si的NixSi化合物层。样品经真空退火处理后，Ni／Si界面进一步反应生成Ni2Si合金，而原有的NixSi化合物含量相对减少，并向Si基体侧扩展，同时Ni穿透Au膜在样品表面富集。渐进因子分析的结果与XPS分析相一致。
谢舒平杨得全范垂祯
关键词：俄歇电子能谱
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