赖倩茜
- 作品数：14 被引量：78H指数：6
- 供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 硬质涂层力学性能可靠测量的两步压入法被引量：3
- 2002年
- 正确测量涂层的硬度等力学性能一直是硬质涂层生产和研究中亟待解决的问题。本文提出的采用力学探针对涂层进行两步压入的实验方法可以在未知涂层厚度的条件下通过大载荷逐步加载展示出涂层厚度对载荷选择的要求 ,从而正确选择加载载荷进行小载荷压入实验。
- 田家万韩增虎赖倩茜戴嘉维李戈扬
- 关键词：硬质涂层力学性能弹性模量
- TiN/NbN纳米多层薄膜的交变应力场和超硬效应被引量：8
- 2002年
- 为了研究纳米多层薄膜的超硬效应 ,采用反应溅射法制备从 1 4nm至 2 7nm不同调制周期的一系列TiN/NbN纳米多层膜。高分辨电子显微镜对薄膜的调制结构和界面生长方式的观察发现 ,TiN/NbN膜具有很好的调制结构 ,并呈现以面心立方晶体结构穿过调制界面外延生长的多晶超晶格结构特征。显微硬度测量表明 ,TiN/NbN纳米多层膜存在随调制周期变化的超硬效应。薄膜在调制周期为 8 3nm时达到HK39 0GPa的最高硬度。分析认为 ,两种不同晶格常数的晶体外延生长形成的交变应力场 ,对材料有强化作用 。
- 赖倩茜虞晓江戴嘉维李戈扬宁兆元
- 关键词：纳米多层薄膜超硬效应调制结构交变应力场
- TiN/NbN纳米多层膜的微结构与超硬度效应被引量：10
- 2002年
- 采用反应溅射法制备了一系列不同调制周期的 Ti N/Nb N纳米多层膜 ,并使用 X射线衍射分析 ( XRD)、透射电子显微镜 ( TEM)和显微硬度计表征了薄膜的调制结构、界面结构和显微硬度 .结果表明 :Ti N/Nb N多层膜具有周期性良好的调制结构 ,调制界面清晰、平直 ;薄膜呈现为多晶外延生长的面心立方结构 ;薄膜硬度出现异常升高的超硬度效应 ,并在调制周期为 8.3nm左右达到硬度峰值 ( HK 3 9.0 GPa)
- 李戈扬赖倩茜虞晓江顾明元
- 关键词：调制结构
- NbN薄膜的反应磁控溅射沉积
- 本文应用SPC-350多靶磁控溅射仪制备NbN薄膜,并研究了氮分压对磁控反应溅射NbN薄膜微结构和力学性能的影响.
- 韩增虎赖倩茜田家万李戈扬
- 关键词：磁控溅射电镜观察薄膜微结构力学性能
- 文献传递
- 力学探针在材料选区力学性能测量上的应用被引量：1
- 2003年
- 介绍了力学探针的工作原理 ,并通过对不同应力状态下弹簧钢力学性能和TiN硬质薄膜力学性能的测量实例 。
- 张俊秋赖倩茜李戈扬虞伟良郭飚
- 关键词：弹簧钢
- Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性
- 本文采用多靶磁控反应溅射方法制备了一系列不同Si含量的Ti-Si-N系复合薄膜,以此来研究薄膜硬度随Si含量和基片温度的变化.
- 胡晓萍虞晓江赖倩茜李戈扬
- 关键词：TIN薄膜溅射法纳米复合薄膜电镜观察
- 文献传递
- 纳米薄膜厚度的X射线测量被引量：14
- 2000年
- 研究了通过小角度 X射线衍射 (XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法 ,并测定了在 Si C表面沉积 Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率。结果表明 ,采用小角度 XRD技术测量纳米薄膜厚度和沉积速率 ,能克服基片性质、表面平整度和金属膜氧化的影响 ,准确。
- 赖倩茜李戈扬竺品芳毛顺娟
- 关键词：XRD沉积速率基片X射线衍射厚度
- 力学探针两步压入法研究(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应被引量：4
- 2002年
- 提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法 ,并用此方法研究了 (Ti,Al) N/ Al N纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系。结果表明 ,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加 ,并在调制周期为 1.3nm时达到最高值 HV=2 9.0 GPa和 E=383.0 GPa,表明 (Ti,Al) N/ Al N纳米多层膜存在超硬度和超模量效应。
- 田家万韩增虎虞晓江赖倩茜李戈扬
- 关键词：超硬效应力学性能氮氮化铝
- 硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择
- 本文利用高速钢基体上通过反应磁控溅射技术沉积的1.5μm和3.0μm厚的TiN薄膜,采用力学探针技术准确测量硬质薄膜的力学性能.
- 赖倩茜田家万戴嘉维李戈扬
- 关键词：硬质薄膜力学性能
- 文献传递
- Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性被引量：9
- 2002年
- 胡晓萍虞晓江赖倩茜李戈扬
- 关键词：机械性能氮化钛薄膜
