陈双
- 作品数:5 被引量:5H指数:1
- 供职机构:浙江大学理学院微分析系统研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术电子电信更多>>
- 玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法
- 本发明提供了一种玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法,其特征是:采用二次刻蚀技术,先利用标准紫外光刻,将掩膜中的微米通道图案转移至涂有铬层和光胶层的玻璃基片上,通过化学湿刻蚀在玻璃基片上形成微米通道。然后在基片上重新甩上光...
- 何巧红陈双
- 文献传递
- 玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法
- 本发明提供了一种玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法,其特征是:采用二次刻蚀技术,先利用标准紫外光刻,将掩膜中的微米通道图案转移至涂有铬层和光胶层的玻璃基片上,通过化学湿刻蚀在玻璃基片上形成微米通道。然后在基片上重新甩上光...
- 何巧红陈双
- 文献传递
- 玻璃微-纳流控芯片的制备及在蛋白质电动富集中的应用被引量:1
- 2012年
- 发展了一种以"二次刻蚀"技术制备玻璃微-纳流控芯片的新方法.首先,采用紫外光刻和化学湿法刻蚀技术在玻璃基片上加工微米深度的微通道;去除剩余的光胶后,在刻有微通道的基片上旋涂一层新的光胶;再通过二次紫外光刻和湿法刻蚀在该基片上加工深度小于100 nm的纳通道;最后,采用室温键合技术,将带有微纳结构的基片与盖片封合制成玻璃微-纳流控复合芯片.利用本方法可以在普通化学实验室以简易的设备制得具有微-纳米复合结构的玻璃芯片.将此玻璃微-纳流控复合芯片成功地应用于以电动离子捕集技术富集荧光素钠异硫氰酸酯(FITC)标记的人血清蛋白(HSA).结果表明,对于0.5 mg/mL的FITC-HSA,30s内富集倍率可达到200倍以上.
- 董媛媛胡贤巧陈双庐华何巧红陈恒武
- 关键词:芯片加工
- 纳流控芯片的微加工技术及其应用被引量:4
- 2008年
- 纳流控学和纳流控芯片应用于化学和生化分析的研究近年来取得了长足的进展。纳流控的基础和应用研究以纳流控芯片的研制为基础,而纳流控芯片的制备需依靠微纳加工技术。本文着重介绍目前已经建立的纳流控芯片加工技术,包括掩膜加工法、牺牲层技术、模具加工法、化学-机械抛光法、机械拉伸技术以及其他的加工技术。此外,还简单介绍了纳流控芯片在试样预处理以及生化分析中的应用。
- 何巧红陈双
- 关键词:微加工
- 玻璃纳流控芯片的制作及其应用研究
- 随着微流控芯片在生物、化学方面的迅速发展,纳流控芯片也越来越引起人们的关注。纳流控的基础和应用研究以纳流控芯片的研制为基础,随着纳流控芯片通道尺寸的降低,对其制作技术提出了更高的要求;在纳流控芯片中,随着通道尺寸的降低,...
- 陈双
- 关键词:微流控芯片紫外光刻湿法刻蚀
- 文献传递