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陈樟

作品数:32 被引量:85H指数:6
供职机构:中国工程物理研究院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 23篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 4篇专利

领域

  • 19篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇理学
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 14篇折叠波导
  • 11篇行波管
  • 8篇太赫兹
  • 8篇赫兹
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  • 5篇纳米压痕
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  • 3篇轴拉
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  • 3篇力学性

机构

  • 31篇中国工程物理...
  • 13篇中国工程物理...
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  • 1篇电子科技大学

作者

  • 32篇陈樟
  • 14篇王亚军
  • 13篇苏伟
  • 8篇颜胜美
  • 6篇万敏
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  • 5篇向伟
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  • 3篇苏伟
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  • 2篇刘俊

传媒

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年份

  • 1篇2023
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  • 7篇2014
  • 7篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 4篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2007
  • 2篇2006
32 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
气体流量对硼预扩散质量的影响
通过建立浓硼掺杂预扩散工艺的仿真模型,模拟了通入不同流量气体时的流场,找到了一个较为合 理的流量,使得此时的流场分布均匀。经实验证明,在此气体流量下,扩散后的硅片均匀性较好,达到指 标要求。
陈樟万敏唐海林苏伟
关键词:MEMS
多注太赫兹折叠波导行波管的设计与模拟被引量:2
2015年
为解决太赫兹(THz)行波管工作电流过小、输出功率低等问题,提出了基模多注工作模式的折叠波导行波管(TWT)。首先,获得了基模多注折叠波导色散特性;然后,对基模多注折叠波导的传输特性进行了模拟计算;最后,完成了0.14 THz基模多注折叠波导行波管的注波互作用特性分析。电子注参数为12 m A,15.75 k V时,获得的3 d B带宽为25 GHz(128 GHz^153 GHz),最大增益为33.61 d B,最大峰值功率为23 W;电子注参数为30 m A,15.75 k V时,在0.14 THz处获得了38 d B增益,最大脉冲输出功率为63.1 W。该方法能够有效增大THz行波管的工作电流,提高互作用增益及效率、3 d B带宽、输出功率;在增益相同时,基模多注行波管可以做得更短、更紧凑。
颜胜美苏伟徐翱王亚军陈樟向伟金大志
关键词:基模多注折叠波导
0.14THz折叠波导行波管盒型窗设计与制作被引量:6
2013年
研究用于0.14 THz折叠波导行波管的盒形窗结构,采用三维模拟软件HFSS进行计算与优化,设计出基于蓝宝石窗片的盒型窗结构。分析了结构参数对盒形窗电压驻波比的影响,主要结构参数在±0.01 mm范围变化时,盒形窗电压驻波比仍然低于1.2,保证零件加工的可行性。装配完成盒形窗测试结构,冷测结果显示,在0.135 THz^0.145 THz范围内衰减系数为0.7 dB左右,满足整管要求。
王亚军陈樟刘俊
关键词:THZ蓝宝石
微射流驱动弯曲测试法测量微结构的弹性模量被引量:1
2009年
提出了一种新颖的用于测量微结构力学性能的弯曲测试法——微射流驱动的弯曲测试法(microjet-driving microbending test method,JDBT)。该方法利用气体微射流连续冲击微结构,使之发生弯曲变形,通过获取结构的尺寸参数和形变位移,并代入结构的变形公式,从而反解出材料的力学性能参量。利用动量定理推导了微射流作用力公式,对某型号石英摆片式加速度计的敏感结构进行了理论建模,并用COMSOL MULTIPHYSICS有限元软件对理论公式进行了修正,接着通过JDBT实验得到了不同流量下的结构位移,最后将结构尺寸和结构形变位移代入修正后的理论公式,从而得到了石英玻璃的弹性模量约为71GPa,比纳米压痕仪测试的结果要小14%左右,与文献中提到的结果吻合较好。
陈樟苏伟万敏
关键词:微电子机械系统力学性能石英玻璃
太赫兹折叠波导慢波结构的设计与微加工(英文)被引量:4
2014年
从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法,给定工作频率和电压,能够获得折叠波导慢波结构的初始参数.设计了D波段的折叠波导结构来验证该方法,对其冷测特性如色散、耦合阻抗进行了分析.仿真结果表明,设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系,在中心频率处耦合阻抗为3.5欧姆.在电子注电压为20.6 kV,电流为15 mA时,27 mm(50个周期)的折叠波导慢波结构在220 GHz具有13.5 dB的增益,3 dB带宽为11 GHz (213 ~224 GHz).同时讨论了折叠波导慢波结构的微加工工艺,并通过UV-LIGA工艺获得了实验样品.
王亚军陈樟程焰林施志贵
关键词:行波管折叠波导THZ辐射
0.14THz基模多注折叠波导行波管的理论与模拟研究被引量:3
2014年
为解决THz行波管工作电流过小、输出功率低等问题,提出了基模多注工作模式的折叠波导行波管.首先,获得了基模多注折叠波导色散特性的等效传输线计算模型,并与数值模拟结果进行了比较;然后,对基模多注折叠波导的传输特性进行了模拟计算;最后,通过模拟和理论计算完成了0.14 THz基模多注折叠波导行波管的注波互作用特性分析.电子注参数为12 m A,15.75 k V时,获得的3 d B带宽为25 GHz(128—153 GHz),最大增益为33.61 d B,最大峰值功率为23 W;电子注参数为30 m A,15.75 k V时,在0.14 THz处获得了38 d B增益,最大脉冲输出功率为63.1 W.对比同条件下基模单注折叠波导行波管,3 d B带宽提升了1倍,0.14 THz处输出功率增大了9.66倍,互作用效率增大了3.22倍;当增益相同时,多注方式的互作用长度较单注缩短了33%.该方法能够有效增大THz行波管的工作电流,提高互作用增益及效率、3 d B带宽、输出功率;在增益相同时,基模多注行波管可以做得更短更紧凑.
颜胜美苏伟王亚军徐翱陈樟金大志向伟
关键词:基模多注折叠波导
0.14THz折叠波导行波管慢波结构设计与加工被引量:16
2011年
使用一种显式方法对0.14 THz折叠波导行波管慢波结构进行了快速设计,并通过解析模型、等效电路模型以及电磁场仿真软件(CST MWS)对结构的色散关系和耦合阻抗进行了计算。计算结果表明,0.14 THz附近的色散较为平坦,耦合阻抗在1Ω左右。为了满足大功率输出需求,对初始结构尺寸进行了部分调整。CST PS互作用模拟结果表明,在0.14 THz附近,输出功率大于1 W。用微电火花(EDM)和微铣削方法分别进行了加工实验,结果表明,两种方法在尺寸精确度上均能满足指标要求,微铣削加工能获得更平整、表面粗糙度更好的槽底。
陈樟王亚军
关键词:折叠波导行波管慢波结构微铣削
一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法
本发明公开了一种太赫兹横向肖特基二极管,包括半绝缘层、有源区N+层、有源区N-层、钝化层、欧姆接触区、肖特基接触区、阴极和阳极。其主要制作方法为:刻蚀有源区台阶后,依次离子注入Si形成有源区N+层和有源区N-层,退火后淀...
唐海林李倩熊永忠杜亦佳陈樟
文献传递
220 GHz折叠波导慢波结构(英文)被引量:6
2011年
优化设计了一种220GHz的折叠波导慢波结构的尺寸,对其冷测特性如色散、耦合阻抗和衰减进行了分析。理论分析和软件仿真结果表明设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系,较高的耦合阻抗和较低的电路衰减。互作用模拟表明,在电子注电压为20kV,电流为10mA时,27mm(50个周期)的折叠波导慢波结构在220GHz具有14.5dB的增益,3dB带宽为16.3GHz(211.9~228.2GHz)。
王亚军陈樟程焰林施志贵殷海荣
关键词:冷测特性折叠波导仿真THZ辐射
一种基于共面波导的0.14THz低噪声放大器设计被引量:1
2013年
为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果。此种方法能够很好地实现信号在不同传输线形式间的转换,并得到了无源测试验证。
康小克邓贤进陈樟
关键词:低噪声放大器共面波导THZ
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