2025年1月7日
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伊晓燕
作品数:
269
被引量:135
H指数:5
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
广州市科技计划项目
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李晋闽
扬州中科半导体照明有限公司
王军喜
扬州中科半导体照明有限公司
刘志强
扬州中科半导体照明有限公司
王国宏
扬州中科半导体照明有限公司
杨华
中国科学院半导体研究所
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伊晓燕
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2007
6篇
2006
3篇
2005
共
269
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在SiC衬底上形成有导光层的GaN基LED的制造方法
本发明提供了一种在SiC衬底上形成有导光层的GaN基LED的制造方法,包括下列步骤:在SiC衬底上生长LED外延片;制备出P面具有反射金属膜的外延片,与新的衬底键合,形成倒装结构的LED外延片;采用机械研磨工艺将SiC衬...
孔庆峰
马平
纪攀峰
卢鹏志
杨华
刘志强
伊晓燕
王军喜
王国宏
曾一平
李晋闽
失配光谱均匀化灯具
本发明公开了一种失配光谱均匀化灯具,包括:电路板;LED阵列,设置于电路板上,用于提供灯具工作时主要的光谱形态;发光元件,包括设置于LED阵列四周或间隙的特定波长光源,用于调整灯具的发光光谱,形成灯具表面的发光光谱均一化...
于飞
李燕
杨华
王晓桐
伊晓燕
王军喜
李晋闽
空气桥电极互联阵列式LED器件的制作方法
一种空气桥电极互联阵列式LED器件的制作方法,包括:选择性刻蚀外延结构上的N型氮化镓层,形成N型台阶,制作掩膜,形成隔离的深槽;沉积绝缘介质层,腐蚀掉深槽侧壁以外的绝缘介质层;在外延结构表面制作一层薄膜材料;制作掩膜,去...
张杨
詹腾
李璟
刘志强
伊晓燕
王国宏
文献传递
一种基于非晶衬底的氮化物薄膜结构及其制备方法
一种非晶衬底的氮化物薄膜结构及其制备方法,该氮化物薄膜结构包括:一非晶衬底;一石墨烯缓冲层;一纳米结构支撑层;一氮化物薄膜。该非晶衬底的氮化物薄膜结构的制备方法包括:提供一非晶衬底;将石墨烯转移到非晶衬底上;利用化学气相...
伊晓燕
王蕴玉
刘志强
梁萌
王兵
任芳
尹越
王军喜
李晋闽
文献传递
红外探测器及其制备方法
本公开提供一种红外探测器及其制备方法,该红外探测器包括:衬底,设置于衬底上的势垒绝缘缓冲层,以及至少一个叠层单元,该至少一个叠层单元均匀设置于势垒绝缘缓冲层上,每个叠层单元均包括:超晶格吸收区,设置于势垒绝缘缓冲层上的中...
贾春阳
张逸韵
伊晓燕
王军喜
李晋闽
LED共晶焊方法
一种共晶焊方法,包括如下步骤:步骤1:在基板上表面制作线路;步骤2:将钢网图形与基板上表面线路对准,并固定钢网和基板;步骤3:将LED芯片摆放于基板上表面钢网的图形中;步骤4:对LED芯片加压;步骤5:对基板进行加热,完...
郑怀文
杨华
卢鹏志
李璟
伊晓燕
王军喜
王国宏
李晋闽
文献传递
倒装高压发光二极管及其制作方法
一种倒装高压发光二极管,包括LED芯片和支撑基板;所述LED芯片包含多个LED芯片单元,所述每个LED芯片倒装焊接在支撑基板上;所述每个LED芯片单元包含n型半导体层、p型半导体层、有源层、p电极焊盘和n电极焊盘;其中所...
郭金霞
田婷
赵勇兵
刘志强
伊晓燕
王军喜
李晋闽
文献传递
GaN基功率型LED的N型欧姆接触电极的制备方法
一种GaN基功率型LED的N型欧姆接触电极的制备方法,包括:在GaN基功率型LED的材料结构上沉积一掩蔽层;腐蚀出叉指状N-GaN电极;去除光刻胶清洗;在GaN基片表面沉积一隔离层;电极剥离;腐蚀掉SiO<Sub>2</...
陈宇
王良臣
伊晓燕
郭金霞
文献传递
利用双成核层生长高质量氮化镓外延结构的方法
一种利用双成核层生长高质量氮化镓外延结构的方法,该方法包括以下步骤:步骤1:采用MOCVD技术,对图形衬底进行高温处理后,降温;步骤2:在图形衬底上生长一氮化物成核层;步骤3:退火,实现成核层再结晶;步骤4:在结晶后的氮...
梁萌
李鸿渐
姚然
李志聪
李盼盼
王兵
李璟
伊晓燕
王军喜
王国宏
李晋闽
文献传递
具有高阈值电压和超低栅漏电的400V常关型槽栅AlGaN/GaN金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管(英文)
被引量:2
2018年
介绍了一种采用ICP干法刻蚀技术制备的槽栅常关型AlGaN/GaN金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管(MOS-HEMT)。采用原子层淀积(ALD)实现40 nm的栅介质的沉积。槽栅常关型AlGaN/GaN MOS-HEMT的阈值电压为+4.3 V。在栅压时,槽栅常关型AlGaN/GaN MOS-HEMT饱和电流为0.71 A,特征导通电阻为5.73 m?·cm^2。在栅压时,器件的击穿电压为400 V,关断漏电流为320μA。器件的开启与关断电流比超过了109。在栅压为-20 V时,槽栅常关型AlGaN/GaN MOS-HEMT的栅漏电流为1.8 n A。高的开启与关断电流比和低的栅漏电流反映了界面具有很好的质量。
赵勇兵
程哲
程哲
张韵
伊晓燕
王国宏
关键词:
ALGAN/GAN
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